走査型プローブ顕微鏡

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：坂上正明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-141899
公開番号（公開出願番号）：特開2003-329563
出願日： 2002年05月16日
公開日（公表日）： 2003年11月19日
要約：

【要約】【課題】試料形状が所定の条件を満足しているか否かを簡単かつ正確に確認できるようにした走査型プローブ顕微鏡を提供する。【解決手段】疑似リファレンス画像Sref1は、一対の基準ラインプロファイルLref1,Lref2を平行に離間配置して構成される。オペレータは、疑似リファレンス画像Sref1の基準ラインプロファイルLref1,Lref2間に試料形状のラインプロファイルが収まるように、疑似リファレンス画像Sref1の位置を面画上で移動させる。試料形状のラインプロファイルを基準ラインプロファイルLref1,Lref2間に収めることができれば試料形状が規格内と判定し、疑似リファレンス画像Sref1をどのように移動させても試料形状のラインプロファイルを基準ラインプロファイルLref1,Lref2間に収めることができなければ規格外と判定する。

請求項（抜粋）：

カンチレバーの自由端に設けた探針を試料表面に近接または接触させ、試料表面との距離が一定に保たれるようにZ方向へ微動させながらX,Y方向へ走査し、前記カンチレバーの歪量に基づいて試料像を表示する走査型プローブ顕微鏡において、試料形状の良否判定基準を代表する疑似リファレンス像を記憶する手段と、前記疑似リファレンス像を試料像に重畳する手段と、前記重畳された画像を画面表示する手段とを含むことを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。

IPC (2件)：

G01N 13/10 , G01B 21/30

FI (2件)：

G01N 13/10 E , G01B 21/30

Fターム (13件)：

2F069AA60 , 2F069BB40 , 2F069CC07 , 2F069GG01 , 2F069GG04 , 2F069GG18 , 2F069GG62 , 2F069HH04 , 2F069HH30 , 2F069JJ08 , 2F069NN02 , 2F069NN06 , 2F069QQ05

引用特許：

審査官引用 (7件)

パタ-ン欠陥検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-125591 出願人：株式会社日立製作所
板材賦形評価方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-103425 出願人：株式会社クボタ
表面性状解析方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-028704 出願人：川崎製鉄株式会社

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