特許
J-GLOBAL ID:200903085976415591
ラップ砥粒スラリーの再生方法及び装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
山田 恒光 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-035522
公開番号(公開出願番号):特開2002-239906
出願日: 2001年02月13日
公開日(公表日): 2002年08月28日
要約:
【要約】【課題】 分級粒径や不純物の除去率を細かく調整し得て精度の高い分級を行うことが可能で、しかも、補機やポンプ、バルブ等に摩耗が起こり難く、外部からの異物混入の虞れもないラップ砥粒スラリーの再生方法及び装置を提供する。【解決手段】 ラッピングマシーン1から使用後の砥粒スラリー2を遠心分離機10に導入して砥粒2aと不純物2bを含むラップ液2cとに分離した後に、遠心分離機10で分離された砥粒2aを洗浄液に混合して再び遠心分離機14,15に導入し、該遠心分離機14,15にて再び砥粒2aを撹拌洗浄しつつ砥粒2aと不純物2bを含む洗浄液とに遠心分離し、これにより遠心分離機14,15で得られた砥粒2aを、遠心分離機10で分離されたラップ液2cから不純物2bを除去したものに混合してラッピングマシーン1へ砥粒スラリー2として再循環する。
請求項(抜粋):
ラッピングマシーンから使用後の砥粒スラリーを第一の遠心分離機に導入して比較的低い遠心力により砥粒と不純物を含むラップ液とに遠心分離した後に、前記第一の遠心分離機で分離された砥粒を洗浄液に混合して再び第二の遠心分離機に導入し、該第二の遠心分離機にて再び比較的低い遠心力をかけて砥粒を撹拌洗浄しつつ砥粒と不純物を含む洗浄液とに遠心分離し、これにより第二の遠心分離機で得られた砥粒を、前記第一の遠心分離機で分離されたラップ液から不純物を除去したものに混合して前記ラッピングマシーンへ砥粒スラリーとして再循環することを特徴とするラップ砥粒スラリーの再生方法。
IPC (5件):
B24B 57/02
, B03B 5/28
, B03B 7/00
, B03B 9/00
, B03C 1/00
FI (5件):
B24B 57/02
, B03B 5/28 A
, B03B 7/00
, B03B 9/00
, B03C 1/00 A
Fターム (4件):
3C047GG17
, 4D071AA52
, 4D071DA15
, 4D071DA20
引用特許: