微小部蛍光X線分析装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：塩野入章夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-139667
公開番号（公開出願番号）：特開2003-329621
出願日： 2002年05月15日
公開日（公表日）： 2003年11月19日
要約：

【要約】【課題】微小部蛍光分析装置に一次X線フィルタを設け、特性X線の分析能を高めること。【解決手段】 X線集光用キャピラリレンズ3を用いることによりX線を試料Sの微小部分に集光させて微小部を分析する蛍光X線分析装置1を構成すると共に、このX線集光用キャピラリレンズ3とX線源2との間に一次X線フィルタ(一次X線フィルタ変換装置20)を配置することにより、X線の集光位置の近傍付近への構成要素の配置が困難な微小部蛍光X線分析装置への一次X線フィルタの設置を可能とする。

請求項（抜粋）：

X線源と、X線源から発生したX線を試料に集光させるX線集光用キャピラリレンズと、試料から発生した特性X線を検出する検出器とを備える微小部蛍光X線分析装置であって、前記X線源と前記X線集光用キャピラリレンズとの間に、一次X線フィルタを備えることを特徴とする微小部蛍光X線分析装置。

Fターム (11件)：

2G001AA01 , 2G001BA04 , 2G001CA01 , 2G001EA06 , 2G001GA01 , 2G001GA06 , 2G001JA01 , 2G001KA01 , 2G001PA11 , 2G001PA14 , 2G001SA02

引用特許：

審査官引用 (6件)

半導体評価装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-319983 出願人：株式会社日立製作所
光電子分光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-333387 出願人：株式会社ニコン
特開昭62-038350

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