特許
J-GLOBAL ID：200903086113878808
IC試験装置
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
前田 均 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-106913
公開番号（公開出願番号）：特開平11-287843
出願日： 1998年04月02日
公開日（公表日）： 1999年10月19日
要約：
【要約】【課題】テスト工程におけるインデックスタイムを短縮しスループットを高める。【解決手段】テスト工程の第1のポジションCR5に搬入された被試験ICをテストヘッド302のコンタクト部302aへ移送してテストを行ったのち被試験ICを当該コンタクト部302aから払い出す第1の吸着ヘッド304cと、テスト工程の第2のポジションCR5に搬入された被試験ICをコンタクト部302aへ移送してテストを行ったのち被試験ICを当該コンタクト部302aから払い出す第2の吸着ヘッド304cとを備える。
請求項（抜粋）：
テスト工程の第1のポジションに搬入された被試験ICをテストヘッドのコンタクト部へ移送してテストを行ったのち、前記被試験ICを当該コンタクト部から払い出す第1の移送手段と、前記テスト工程の第2のポジションに搬入された被試験ICを前記コンタクト部へ移送してテストを行ったのち、前記被試験ICを当該コンタクト部から払い出す第2の移送手段と、を備えたことを特徴とするIC試験装置。
IPC (3件)：
G01R 31/26
, H01L 21/66
, B65G 47/51
G01R 31/26 Z
, G01R 31/26 H
, G01R 31/26 J
, H01L 21/66 G
, B65G 47/51
