特許
J-GLOBAL ID：200903086134980386

超音波モータ、駆動ステージ及び露光装置

発明者：
河西 秀典

河西 秀典 について

, 
小坂 光二

小坂 光二 について


出願人/特許権者：
シャープ株式会社

シャープ株式会社 について

, 
有限会社東京テクノロジー

有限会社東京テクノロジー について


代理人 (1件)： 山本 秀策
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-271703
公開番号（公開出願番号）：特開平11-113273
出願日： 1997年10月03日
公開日（公表日）： 1999年04月23日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 大気中のみならず、略真空中で使用する場合であっても、駆動トルクを露光装置の駆動ステージ等の被駆動体に確実に伝達できる超音波モータの提供。【解決手段】 超音波モータ1の摺動部材10を介してレール11を移動させる構成において、摺動部材10、10’の材料を融点又は熱分解温度を640°C以上とする。例えば、マルテンサイト・ステンレス鋼を焼入れして硬度を高め、ビッカース硬度は約900、融点は1500°C以上とする。一方、レール11として用いたアルミナのビッカース硬度は1800、融点は2000°Cとする。
請求項（抜粋）：
圧電素子及び該圧電素子によって振動される振動体を有し、該振動体の先端部に設けた摺動部材を介して被駆動体に動力を伝達する超音波モータにおいて、該摺動部材が融点、若しくは熱分解温度が640°C以上の材料からなる超音波モータ。
IPC (2件)：
H02N 2/00 ,  G05D 3/00
FI (2件)：
H02N 2/00 C ,  G05D 3/00 B
引用特許：
審査官引用 (17件)
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