特許
J-GLOBAL ID：200903086138296684

プローブカセット、半導体検査装置および半導体装置の製造方法

発明者：
春日部 進

春日部 進 について

, 
成塚 康則

成塚 康則 について


出願人/特許権者：
株式会社ルネサステクノロジ

株式会社ルネサステクノロジ について


代理人 (1件)： 筒井 大和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-208213
公開番号（公開出願番号）：特開2006-032593
出願日： 2004年07月15日
公開日（公表日）： 2006年02月02日
要約：
【課題】 接触端子の先端位置精度を確保し、ウエハに形成された半導体素子を一括して確実に検査できるフルウエハの検査装置、および半導体装置の製造方法を提供する。【解決手段】 半導体検査装置に用いられるプローブカセットであって、ウエハ1の電極3と接触する複数の接触端子7と、接触端子7の各々と電気的に接続された複数の接触バンプ20bとを有するプローブシート31と、プローブシート31の接触バンプ20bと接触する複数の接触電極34aと、接触電極34aの各々と電気的に接続された複数の周辺電極27bとを有するプローブシート34とを有し、プローブシート34との間で、プローブシート31を介在してウエハ1を減圧して挟み込み、ウエハ1の電極3に接触端子7を所望の気圧で接触させて検査を行う。接触端子7は、角錐形状又は角錐台形状に形成され、またプローブシート34は金属膜30bで裏打ちされている。【選択図】 図4
請求項（抜粋）：
被検査対象に設けられた電極と接触する複数の接触端子と、前記複数の接触端子の各々から引き出された配線と、前記配線と電気的に接続された複数の周辺電極と、前記複数の周辺電極のうち、第1の周辺電極に接続されたテスタ用の接続端子とを有するプローブシートと、 前記プローブシートとの間で前記被検査対象を挟み込む支持部材とを有し、 前記プローブシートは、前記複数の周辺電極のうち、第2の周辺電極が検査回路用部品の端子として形成され、前記複数の接触端子が角錐形状又は角錐台形状に形成されていることを特徴とするプローブカセット。
IPC (4件)：
H01L 21/66 ,  G01R 1/06 ,  G01R 1/073 ,  G01R 31/28
FI (4件)：
H01L21/66 B ,  G01R1/06 E ,  G01R1/073 D ,  G01R31/28 K
Fターム (29件)：
2G011AA09 ,  2G011AA15 ,  2G011AA16 ,  2G011AA21 ,  2G011AB06 ,  2G011AB08 ,  2G011AC05 ,  2G011AC14 ,  2G011AE03 ,  2G132AA00 ,  2G132AB01 ,  2G132AB03 ,  2G132AE03 ,  2G132AE22 ,  2G132AE30 ,  2G132AF03 ,  2G132AF06 ,  2G132AL04 ,  4M106AA01 ,  4M106AA02 ,  4M106BA01 ,  4M106CA01 ,  4M106DD03 ,  4M106DD06 ,  4M106DD10 ,  4M106DD16 ,  4M106DH44 ,  4M106DH46 ,  4M106DJ02
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (8件)
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