リニアモータ、およびこれを用いたステージ装置、露光装置ならびにデバイス製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大塚康徳 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-028330
公開番号（公開出願番号）：特開2002-325421
出願日： 2002年02月05日
公開日（公表日）： 2002年11月08日
要約：

【要約】【課題】推力リップルが小さく、高駆動力であるリニアモータを実現する。【解決手段】リニアモータMは、永久磁石群1a〜1dによって構成されるリニアモータ可動子10と、2組の電磁コイル2a、2bによって構成されるリニアモータ固定子20を有する。リニアモータ可動子10の永久磁石1a、1cの極性方向は、移動方向であるx軸方向に垂直なy軸方向で、互いに逆向きである。これらの間に、同じ直方体形状であって極性方向を90度回転させた永久磁石1b、1dを配列することで、理想的な正弦波磁界を形成する。

請求項（抜粋）：

それぞれの極性方向が周期的に逆向きになるように配列された第1磁石と、それぞれの極性方向が周期的に逆向きになるように当該第1磁石に隣接して配列された第2磁石と、当該第1及び第2磁石に対向して設けられ、当該第1及び第2磁石との間にローレンツ力を発生させる電磁コイルとを備え、前記第2磁石は、当該第1磁石に対して極性方向が交差するように配設されていることを特徴とするリニアモータ。

IPC (5件)：

H02K 41/03 , G03F 7/22 , G03F 9/00 , G12B 5/00 , H01L 21/027

FI (5件)：

H02K 41/03 A , G03F 7/22 H , G03F 9/00 H , G12B 5/00 T , H01L 21/30 503 A

Fターム (18件)：

2F078CA02 , 2F078CA08 , 2F078CB13 , 2F078CC02 , 5F046CC01 , 5F046CC03 , 5F046CC18 , 5H641BB06 , 5H641GG02 , 5H641GG04 , 5H641GG05 , 5H641GG07 , 5H641HH03 , 5H641HH05 , 5H641HH09 , 5H641HH14 , 5H641JA02 , 5H641JA09

引用特許：

審査官引用 (8件)

リニアモータ及びこれを用いたステージ装置や露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-116224 出願人：キヤノン株式会社
リニアモータ
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-190645 出願人：日立金属株式会社
特開昭62-092757

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