酸化物人工超格子薄膜とその製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：西澤利夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-325309
公開番号（公開出願番号）：特開2000-154100
出願日： 1998年11月16日
公開日（公表日）： 2000年06月06日
要約：

【要約】【課題】磁性等の特性の制御可能な、原子レベルでの秩序構造化した酸化物材料を提供する。【解決手段】基板結晶面上に原子層単位で酸化物がエピタキシー積層成長されている酸化物人工超格子薄膜とする。

請求項（抜粋）：

基板結晶面上に原子層単位で酸化物がエピタキシー積層成長されていることを特徴とする酸化物人工超格子薄膜。

IPC (6件)：

C30B 29/68 , B01J 19/00 , B01J 19/12 , C30B 23/08 , C30B 29/16 , H01L 21/203

FI (7件)：

C30B 29/68 , B01J 19/00 M , B01J 19/12 B , B01J 19/12 G , C30B 23/08 M , C30B 29/16 , H01L 21/203 M

Fターム (22件)：

4G075AA24 , 4G075AA25 , 4G075AA61 , 4G075BC05 , 4G075CA36 , 4G077AA03 , 4G077AB02 , 4G077BC11 , 4G077BC12 , 4G077DA05 , 4G077ED06 , 4G077HA03 , 4G077SC02 , 4G077SC05 , 5F103AA04 , 5F103BB23 , 5F103BB55 , 5F103DD30 , 5F103GG01 , 5F103GG10 , 5F103HH04 , 5F103LL16

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開昭59-184799
セラミックス超格子
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-025332 出願人：住友セメント株式会社
特開平3-075300

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