特許
J-GLOBAL ID:200903086212040069
流量調節弁及び流量調節システム
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (1件):
鈴江 武彦 (外6名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-340499
公開番号(公開出願番号):特開2001-012632
出願日: 1999年11月30日
公開日(公表日): 2001年01月16日
要約:
【要約】【課題】 本発明は駆動機への電力供給を停止しても、弁孔の開度が所定の保たれるようにした流量調節弁を提供することにある。【解決手段】 駆動機4の回転軸18が正逆回転することにより弁体10が作動させられて弁孔の開度が調節される流量調節弁において、前記駆動機が、その回転軸が超音波振動により回転させられる駆動機であることを特徴とする。
請求項(抜粋):
駆動機の回転軸が正逆回転することにより弁体が作動させられて弁孔の開度が調節され、被測定流体の流量を調節する流量調節弁において、前記駆動機が、その回転軸が超音波振動により回転させられる駆動機であることを特徴とする流量調節弁。
IPC (4件):
F16K 31/02
, F16K 7/12
, F16K 31/50
, H02N 2/00
FI (5件):
F16K 31/02 Z
, F16K 31/02 A
, F16K 7/12 Z
, F16K 31/50 A
, H02N 2/00 C
Fターム (43件):
3H062AA02
, 3H062AA15
, 3H062BB10
, 3H062BB30
, 3H062BB33
, 3H062CC07
, 3H062DD01
, 3H062EE06
, 3H062FF41
, 3H062HH01
, 3H063AA07
, 3H063BB02
, 3H063BB32
, 3H063BB35
, 3H063BB43
, 3H063BB50
, 3H063DA14
, 3H063EE20
, 3H063GG01
, 5H680AA00
, 5H680AA08
, 5H680BB03
, 5H680BB16
, 5H680BC00
, 5H680CC02
, 5H680CC07
, 5H680DD01
, 5H680DD15
, 5H680DD23
, 5H680DD53
, 5H680DD66
, 5H680DD73
, 5H680DD85
, 5H680DD92
, 5H680EE03
, 5H680EE11
, 5H680FF04
, 5H680FF17
, 5H680FF21
, 5H680FF33
, 5H680GG11
, 5H680GG23
, 5H680GG27
引用特許:
審査官引用 (9件)
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超音波モータを用いたアクチュエータ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-168359
出願人:東京瓦斯株式会社, 株式会社フコク
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超音波駆動弁装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-002391
出願人:日本ボールバルブ株式会社
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特開昭63-101584
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特開平2-140435
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流量調節弁
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-116284
出願人:東京計装株式会社, 株式会社東芝
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流量制御弁及びこれを用いた流量制御システム
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-125760
出願人:株式会社東芝, 東京計装株式会社
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流量制御装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-357987
出願人:東京エレクトロン株式会社
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特開昭63-101584
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特開平2-140435
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