特許
J-GLOBAL ID：200903086309322433
板状物支持部材及びその使用方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐々木 功 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-374336
公開番号（公開出願番号）：特開2003-173996
出願日： 2001年12月07日
公開日（公表日）： 2003年06月20日
要約：
【要約】【課題】 研削により薄くなって剛性が低くなった板状物であっても、研削装置の構造に変更を加えることなく、研削装置内における搬送及びカセットへの収納を円滑に行えるようにする。【解決手段】 板状物Wを支持し吸引力を伝達する板状物支持領域11と、板状物支持領域11を囲繞し保護テープ14を固定するテープ固定領域12とから構成される板状物支持部材を用いて、保護テープ14に貼着された板状物Wを支持し、その状態で研削装置における研削、搬送等を行う。
請求項（抜粋）：
保護テープに貼着された板状物を支持する板状物支持部材であって、板状物を支持し吸引力を伝達する板状物支持領域と、該板状物支持領域を囲繞し該保護テープを固定するテープ固定領域とから構成される板状物支持部材。
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (3件)
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