板状物支持部材及びその使用方法

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出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：佐々木功 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-366853
公開番号（公開出願番号）：特開2003-197581
出願日： 2001年11月30日
公開日（公表日）： 2003年07月11日
要約：

【要約】【課題】研削により薄くなって剛性が低くなった板状物であっても、研削装置内における搬送及びカセットへの収納を、研削装置の構造に変更を加えることなく円滑に行う。【解決手段】板状物を支持する板状物支持領域11と、フレーム15を固定するフレーム固定領域13とから少なくとも構成される板状物支持部材10を用いて、保護テープ16を介してフレーム15と一体となった板状物Wを支持し、これを研削装置のチャックテーブル25において吸引保持して研削を行うと共に、研削装置内における半導体ウェーハの搬送及びカセットへの収納も、板状物支持部材10によって支持された状態で行う。

請求項（抜粋）：

保護テープを介してフレームと一体となった板状物を支持する板状物支持部材であって、保護テープを介して吸引力を伝達して板状物を支持する板状物支持領域と、該フレームを固定するフレーム固定領域とから少なくとも構成される板状物支持部材。

IPC (2件)：

H01L 21/304 622 , H01L 21/68

FI (2件)：

H01L 21/304 622 H , H01L 21/68 N

Fターム (21件)：

5F031CA02 , 5F031CA13 , 5F031CA17 , 5F031DA15 , 5F031FA01 , 5F031FA07 , 5F031FA11 , 5F031FA12 , 5F031HA02 , 5F031HA14 , 5F031HA33 , 5F031HA37 , 5F031HA38 , 5F031JA04 , 5F031JA22 , 5F031JA49 , 5F031JA51 , 5F031MA22 , 5F031MA34 , 5F031MA37 , 5F031MA39

引用特許：

審査官引用 (7件)

冷凍チャックテーブル
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-044847 出願人：株式会社ディスコ
ダイシング装置およびダイシング方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-026362 出願人：三菱電機株式会社
特開平1-222905

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