特許
J-GLOBAL ID：200903086508670777

化学増幅型レジスト組成物

発明者：
花元 幸夫

花元 幸夫 について

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桑名 耕治

桑名 耕治 について

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山本 敏

山本 敏 について


出願人/特許権者：
住友化学工業株式会社

住友化学工業株式会社 について


代理人 (3件)： 久保山 隆 ,  中山 亨 ,  榎本 雅之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-091365
公開番号（公開出願番号）：特開2004-326092
出願日： 2004年03月26日
公開日（公表日）： 2004年11月18日
要約：
【課題】優れた濾過特性を有し、シリコンウェハー上の欠陥の数が大幅に低減できる化学増幅型レジスト組成物及び該レジスト用樹脂組成物の製造方法を提供する。【解決手段】〔1〕粗樹脂(1)を活性炭と接触させることにより得られる処理済樹脂(1)、酸発生剤及び溶媒を含み、該樹脂(1)は、(a)アルカリ水溶液に対して不溶又は難溶性の樹脂であるが、酸の作用によりアルカリ水溶液に可溶性となる樹脂で、脂環式炭化水素基を側鎖に有する繰り返し単位を含む(メタ)アクリル系樹脂又は(b)アルカリ水溶液に対して不溶又は難溶性であるが、酸の作用によりアルカリ水溶液に可溶性となるヒドロキシスチレンに由来する繰り返し単位を含むスチレン系樹脂である化学増幅型レジスト組成物。〔2〕粗樹脂(1)を活性炭と接触させて処理済樹脂(1)を得て、処理済樹脂(1)、酸発生剤及び有機溶媒を混合する工程を含む化学増幅型レジスト組成物の製造方法。【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
粗樹脂(1)を活性炭と接触させることにより得られる処理済樹脂(1)、酸発生剤及び溶媒を含み、該樹脂(1)は、(a)アルカリ水溶液に対して不溶又は難溶性の樹脂であるが、酸の作用によりアルカリ水溶液に可溶性となる(メタ)アクリル系樹脂であって、かつ脂環式炭化水素基を側鎖に有する繰り返し単位を含む(メタ)アクリル系樹脂(以下、樹脂(a)と記す)又は(b)アルカリ水溶液に対して不溶又は難溶性であるが、酸の作用によりアルカリ水溶液に可溶性となるスチレン系樹脂であって、かつヒドロキシスチレンに由来する繰り返し単位を含むスチレン系樹脂(以下、樹脂(b)と記す)であることを特徴とする化学増幅型レジスト組成物。
IPC (3件)：
G03F7/039 ,  G03F7/033 ,  H01L21/027
FI (3件)：
G03F7/039 601 ,  G03F7/033 ,  H01L21/30 502R
Fターム (12件)：
2H025AA00 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025CB14 ,  2H025CB16 ,  2H025CB17 ,  2H025CB41 ,  2H025CB45 ,  2H025CC03 ,  2H025FA17
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (4件)
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