特許
J-GLOBAL ID：200903086538077370
静電アクチュエータ及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
西村 征生
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-036370
公開番号（公開出願番号）：特開平7-231679
出願日： 1994年02月10日
公開日（公表日）： 1995年08月29日
要約：
【要約】【目的】 薄くて軽く、容易に長尺にも短尺にもでき、かつ、耐絶縁破壊性に優れるために、大出力を持続できる静電アクチュエータを実現する。【構成】 固定子2の線状電極4a,4b,4cには、導電性線材4a',4b',4c'を横糸とし、絶縁性繊維6,6,...を縦糸として織り込んだ電極織物が用いられる。この電極織物の両面には、一対の絶縁性フィルムが積層密着され、線状電極4a,4b,4cの電極ピッチを不動のものにしている。固定子2上には、抵抗体層を有する移動子3が載置される。線状電極4a,4b,4cに所定の周期の3相電源を投入すれば、移動子3に電荷が誘導されて静電駆動力が発生する。線状電極4a,4b,4cは、バリ等のない円形の導電性線材からなるため、絶縁破壊が起こりにくく、高電圧を印加できる。それ故、大出力を安定的に抽出できる。
請求項（抜粋）：
一方向に規則的に配列された複数の線状電極を有する固定子と、該固定子に対向して配設され、高抵抗率の抵抗体又は/及び誘電体からなる移動可能な移動子とを備える静電アクチュエータであって、前記固定子は、前記線状電極である絶縁被膜付き又は裸の導電性線材と、絶縁性繊維とが、互いに縦糸・横糸の関係となって織り込まれた電極織物と、該電極織物を挟持した状態で、互いに密着固定されて一体化された一対の絶縁性フィルムとを備えてなることを特徴とする静電アクチュエータ。
引用特許：
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