特許
J-GLOBAL ID：200903086636215918

ファイバ入射型分光器、それを用いた分光システム

発明者：
相川 直志

相川 直志 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (1件)： 特許業務法人湘洋内外特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-347671
公開番号（公開出願番号）：特開2006-153763
出願日： 2004年11月30日
公開日（公表日）： 2006年06月15日
要約：
【課題】分光装置における補正の煩雑さを軽減する。【解決手段】 光ファイバ218と、光ファイバ218からの信号光を平行光とするコリメート光学系231と、コリメート光学系231により平行光に変換された信号光を分光する分光素子236と、分光素子236により分光された信号光を受光する、少なくとも波長分散方向に複数の受光素子237aが並んだ受光器237と、分光素子237からの信号光を受光器237の受光面に結像させる集光光学系236と、を有する。集光光学系236は、信号光を、受光器237の受光面に結像される信号光のスポット径が、受光素子237の配置ピッチより小さくすること、および、コリメート光学系231の開口数が光ファイバ218の開口数より大きく設定されている。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
光ファイバと、 前記光ファイバからの信号光を平行光とするコリメート光学系と、 前記コリメート光学系により平行光に変換された前記信号光を分光する分光素子と、 前記分光素子により分光された信号光を受光する、少なくとも波長分散方向に複数の受光素子が並んだ受光器と、 前記分光素子からの信号光を前記受光器の受光面に結像させる集光光学系と、を有し、 前記集光光学系は、前記受光器の受光面に結像される信号光のスポット径を、前記受光素子の配置ピッチより小さくすること、および、前記コリメート光学系の開口数が前記光ファイバの開口数より大きく設定されていること、 を特徴とする光ファイバ入射型分光器。
IPC (2件)：
G01J 3/36 ,  G01J 3/18
FI (2件)：
G01J3/36 ,  G01J3/18
Fターム (22件)：
2G020CB03 ,  2G020CB23 ,  2G020CC02 ,  2G020CC63 ,  2G020CD03 ,  2G020CD23 ,  2G043AA03 ,  2G043EA01 ,  2G043FA01 ,  2G043FA02 ,  2G043GA01 ,  2G043GB01 ,  2G043HA01 ,  2G043HA02 ,  2G043HA05 ,  2G043HA09 ,  2G043JA04 ,  2G043KA09 ,  2G043LA02 ,  2G043LA03 ,  2G043NA05 ,  2G043NA06
引用特許：
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (5件)
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