特許
J-GLOBAL ID：200903086694477450

ガラスセラミック基板の製造方法

発明者：
佐多 明史

佐多 明史 について


出願人/特許権者：
京セラ株式会社

京セラ株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-358322
公開番号（公開出願番号）：特開2002-164653
出願日： 2000年11月24日
公開日（公表日）： 2002年06月07日
要約：
【要約】【課題】 ガラスセラミック・グリーンシートの焼結収縮を確実に拘束して、寸法精度が極めて高い、良好な表面状態のガラスセラミック基板を得る。【解決手段】 (i)表面に導体パターンが形成されたガラスセラミック・グリーンシートの複数枚を積層して積層体を作製し、(ii)積層体の両面に、ガラスと溶剤とを含む密着剤層を介在させて、難焼結性無機材料と有機バインダーとを含む拘束グリーンシートを積層し、(iii)重しによる荷重をかけた状態で、積層体から有機成分を除去し、ついで焼成して拘束シートを保持したガラスセラミック基板を作製し、(iv)基板から拘束シートを除去する工程からなり、(v)密着剤層のガラス含有量が、焼成時に拘束グリーンシートをガラスセラミック・グリーンシートと結合させかつ焼成後に拘束シートとともにガラスセラミック基板から除去される量である。
請求項（抜粋）：
有機バインダーを含有し表面に導体パターンが形成されたガラスセラミック・グリーンシートの複数枚を積層してガラスセラミック・グリーンシート積層体を作製する工程と、前記ガラスセラミック・グリーンシート積層体の両面に、ガラスと溶剤とを含む密着剤層を介在させて、難焼結性無機材料と有機バインダーとを含む拘束グリーンシートを積層する工程と、前記拘束グリーンシートとガラスセラミック・グリーンシート積層体との積層体に重しによる荷重をかけた状態で、前記積層体から有機成分を除去し、ついで焼成して拘束シートを保持したガラスセラミック基板を作製する工程と、前記ガラスセラミック基板から拘束シートを除去する工程とを含み、前記密着剤層のガラス含有量が、焼成時に前記拘束グリーンシートを前記ガラスセラミック・グリーンシートと結合させかつ焼成後に拘束シートとともにガラスセラミック基板から除去される量であることを特徴とするガラスセラミック基板の製造方法。
IPC (4件)：
H05K 3/46 ,  B28B 11/00 ,  H01L 23/12 ,  H01L 23/15
FI (4件)：
H05K 3/46 H ,  B28B 11/00 Z ,  H01L 23/12 D ,  H01L 23/14 C
Fターム (20件)：
4G055AA08 ,  4G055AC01 ,  4G055AC09 ,  4G055BA14 ,  4G055BA42 ,  5E346AA12 ,  5E346AA15 ,  5E346AA38 ,  5E346BB01 ,  5E346CC18 ,  5E346CC31 ,  5E346CC60 ,  5E346DD02 ,  5E346DD34 ,  5E346EE24 ,  5E346EE25 ,  5E346GG03 ,  5E346GG08 ,  5E346GG09 ,  5E346HH11
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (5件)
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