製造装置の安定稼動方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小川勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-015682
公開番号（公開出願番号）：特開平8-210986
出願日： 1995年02月02日
公開日（公表日）： 1996年08月20日
要約：

【要約】【構成】半導体製品あるいは電子部品等の製造装置と、製品あるいは部品に対して外観検査を行うことが可能な外観検査装置より成る製造工程で、各製造装置と検査装置との間に通信手段を設け、検査装置からの検査情報の各製造工程への伝達を可能にした。【効果】装置の稼働状態の安定化が図れ、同一不良の大量発生を未然に防ぐことができ、製品歩留り向上の効果がある。

請求項（抜粋）：

半導体製品あるいは電子部品等の製造装置と、前記半導体製品あるいは前記電子部品に対して外観検査を行うことが可能な外観検査装置より成る製造工程において、前記各製造装置と検査装置との間に通信手段を設け、前記検査装置からの検査情報をもとに前記製造装置を安定に稼働することを特徴とする製造装置の安定稼働方法。

IPC (4件)：

G01N 21/88 , G01B 11/00 , G01B 11/24 , H01L 21/66

引用特許：

審査官引用 (5件)

実装基板生産システム
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-260449 出願人：松下電器産業株式会社
半導体生産管理システム
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-003312 出願人：株式会社東芝
特開昭63-141334

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