特許
J-GLOBAL ID：200903086710350687

ネブライザーチップ及びそれを用いた高周波誘導結合プラズマ分光分析装置

発明者：
西本 尚弘

西本 尚弘 について


出願人/特許権者：
株式会社島津製作所

株式会社島津製作所 について


代理人 (1件)： 野口 繁雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-017567
公開番号（公開出願番号）：特開2004-226365
出願日： 2003年01月27日
公開日（公表日）： 2004年08月12日
要約：
【課題】超音波ネブライザー機構を簡略にして製造コストを低下させる。【解決手段】ガラス基板2,10の接合面に流路4が形成され、流路4の一端部には試料導入を行うための試料用液溜め8が形成され、流路4の他端側にはネブライザー部となる開口6が形成されている。ガラス基板10の裏面側には、ネブライザー部6の位置に超音波振動子が取り付けられて、その部分のガラス基板10がダイアフラム10aとなっている。この超音波振動子に高周波電圧を印加することにより、超音波振動し、その振動がダイアフラム10aを介してネブライザー部6内の液体に伝えられ、その液体を霧化する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
試料導入を行うための試料用液溜め、開口の底部にダイアフラムを備えたネブライザー部及び前記液溜めとネブライザー部の間を接続する流路が一体化されたチップ部材と、 前記チップ部材で前記ネブライザー部の裏面に取り付けられ前記ダイアフラムに液体を霧化する超音波振動を与える超音波振動子とを備えたことを特徴とするネブライザーチップ。
IPC (1件)：
G01N21/73
FI (1件)：
G01N21/73
Fターム (11件)：
2G043CA03 ,  2G043DA04 ,  2G043EA08 ,  2G043GA19 ,  2G043GB01 ,  2G043GB02 ,  2G043GB05 ,  2G043GB11 ,  2G043GB16 ,  2G043JA04 ,  2G043LA03
引用特許：
出願人引用 (5件)
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引用文献：
出願人引用 (1件)

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