共焦点用光スキャナ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：東野博文
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-250653
公開番号（公開出願番号）：特開平11-095109
出願日： 1997年09月16日
公開日（公表日）： 1999年04月09日
要約：

【要約】【課題】均一性の高い光束をマイクロレンズに入射させることのできる共焦点用光スキャナを提供する。【解決手段】点光源からの光を平行光にするコリメータレンズと、光を通過させる開口部を有した遮蔽板と、複数のマイクロレンズが形成された集光ディスクと、複数のピンホールを有し前記マイクロレンズの焦点位置に各ピンホールが位置するように前記集光ディスクに連結されたピンホール・ディスクを備え、この2つのディスクを一体に回転させ、前記マイクロレンズおよびピンホールを通過した照射光を試料に対して走査する共焦点用光スキャナにおいて、前記集光ディスクへ入射する光の光強度の均一性を補正する光強度分布補正フィルターを設ける。

請求項（抜粋）：

点光源からの光を平行光にするコリメータレンズと、光を通過させる開口部を有した遮蔽板と、複数のマイクロレンズが形成された集光ディスクと、複数のピンホールを有し前記マイクロレンズの焦点位置に各ピンホールが位置するように前記集光ディスクに連結されたピンホール・ディスクを備え、この2つのディスクを一体に回転させ、前記マイクロレンズおよびピンホールを通過した照射光を試料に対して走査する共焦点用光スキャナであって、前記集光ディスクへ入射する光の光強度の均一性を補正する光強度分布補正フィルターを設けたことを特徴とする共焦点用光スキャナ。

引用特許：

審査官引用 (4件)

走査型光学顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-034733 出願人：オリンパス光学工業株式会社
特開平1-210923
共焦点走査型顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-211899 出願人：富士写真フイルム株式会社

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