特許
J-GLOBAL ID：200903086763107636
蒸着装置
発明者：
,
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出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
板垣 孝夫
, 森本 義弘
, 笹原 敏司
, 原田 洋平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-041445
公開番号（公開出願番号）：特開2006-225725
出願日： 2005年02月18日
公開日（公表日）： 2006年08月31日
要約：
【課題】 被蒸着部材へ放出される蒸発材料の指向性を弱めることにより、被蒸着部材に形成される膜厚を略均一にし得る蒸着装置を提供することを目的とする。【解決手段】 蒸発材料誘導管および放出用部材は所定の温度に維持されるとともにそれらの内部の蒸発材料が希薄流をなしており、放出用容器の上面にガラス基板1へ蒸発材料を放出するための放出ノズルが突設されるとともに、放出ノズルの先端側に蒸発材料を拡散するためのオリフィス部材が設けられており、放出ノズルの口径φDとオリフィス部材の口径φD ́とがφD ́/φD≦0.8の関係を満たすことにより、n値が6以下のcosnθ則により蒸発材料の放出が行われ、オリフィス部材から放出される蒸発材料の指向性が弱まることとなるため、ガラス基板の膜厚分布の均一性を向上させることができる。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
蒸着材料を加熱して蒸発材料を得るための蒸発源と、前記蒸発源で得られた蒸発材料を移送する蒸発材料誘導路と、減圧された蒸着用容器内に設けられ前記蒸発材料誘導路から流入する蒸発材料を被蒸着部材へ放出する放出用部材とを備えた蒸着装置であって、
前記蒸発材料誘導路および前記放出用部材は所定の温度に維持されるとともにそれらの内部の蒸発材料が希薄流をなしており、
前記放出用部材の上面に前記被蒸着部材へ蒸発材料を放出するためのノズル部材が突設されるとともに、前記ノズル部材の先端側に蒸発材料を拡散するための絞り部材が設けられており、前記ノズル部材の口径φDと前記絞り部材の口径φD ́とが
φD ́/φD≦0.8
の関係を満たしていること
を特徴とする蒸着装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (7件)：
3K007AB18
, 3K007DB03
, 3K007FA01
, 4K029DA05
, 4K029DB12
, 4K029DB15
, 4K029DB17
出願人引用 (1件)
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蒸着装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願2001-045296
出願人：株式会社デンソー
審査官引用 (5件)
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真空蒸着装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平5-013829
出願人：ソニー株式会社
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特開平2-290963
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特開昭63-171866
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