蒸着装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：伊藤洋二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-045296
公開番号（公開出願番号）：特開2002-249868
出願日： 2001年02月21日
公開日（公表日）： 2002年09月06日
要約：

【要約】【課題】被蒸着板への蒸着の均一性を保ちつつ、被蒸着板と放出口との間隔を小さくして、蒸着率の向上およびチャンバの小型化を図る。【解決手段】蒸発室30aからガラス基板200の蒸着面200a近傍へ蒸発した有機金属100を移送する移送管60を備え、移送管60のうち蒸着面200aに相対する部分である放出部62に、蒸発した有機金属100を放出する複数の放出口62aを形成する。これにより、従来の蒸着装置による坩堝30上部に開口する放出口30bからそのままチャンバ20内に放出させる場合に比べて、蒸着面200aと放出口62aとの間隔L1を小さくしても、蒸着面200aへの蒸着の均一性を保つことができる。

請求項（抜粋）：

内部が減圧されたチャンバ(20)内にて蒸着物質(100)を物理蒸着法により被蒸着板(200)に蒸着させる蒸着装置において、前記蒸着物質(100)を加熱して蒸発させる蒸発室(30a)と、前記蒸発室(30a)と連通し、前記蒸発室(30a)から前記被蒸着板(200)の蒸着面(200a)近傍へ前記蒸着物質(100)を移送する移送管(60)とを備え、前記移送管(60)のうち前記蒸着面(200a)に相対する部分である放出部(62)には、前記蒸着面(200a)に向けて前記蒸着物質(100)を放出する複数の放出口(62a)が形成されていることを特徴とする蒸着装置。

FI (2件)：

C23C 14/24 T , C23C 14/24 A

Fターム (5件)：

4K029AA09 , 4K029BA62 , 4K029BD00 , 4K029CA01 , 4K029DB06

引用特許：

出願人引用 (6件)

電界放出素子とその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-344480 出願人：双葉電子工業株式会社
特開昭52-019184
特開昭55-160422

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審査官引用 (6件)

電界放出素子とその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-344480 出願人：双葉電子工業株式会社
特開昭52-019184
特開昭55-160422

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