カーボンナノチューブの製造方法およびカーボンナノチューブ

発明者： , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (3件)：池田憲保 , 福田修一 , 佐々木敬
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-305757
公開番号（公開出願番号）：特開2007-112662
出願日： 2005年10月20日
公開日（公表日）： 2007年05月10日
要約：

【課題】高温の熱処理を用いることなく、所望の場所に、所望のサイズ、形状、および配向のカーボンナノチューブを製造することができるカーボンナノチューブの製造方法を提供する。【解決手段】触媒金属が導入された炭素線状構造体3の両端に直流電圧を印加することにより、エレクトロマイグレーションによって、触媒金属を析出させると共に移動させ、炭素線状構造体3のうちの触媒金属の移動軌跡に沿った領域を結晶化してグラファイトを形成することにより、カーボンナノチューブ6を製造する。移動して電極1に到達した触媒金属は、電極に含まれる金属と合金化し、オーミック接合部8を形成する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

触媒金属が導入された炭素線状構造体の両端に直流電圧を印加することによって、触媒金属を移動させ、炭素線状構造体のうちの触媒金属の移動軌跡に沿った領域を結晶化することにより、カーボンナノチューブを製造することを特徴とするカーボンナノチューブの製造方法。

IPC (8件)：

C01B 31/02 , H01L 21/28 , H01L 21/285 , H01L 21/320 , H01L 23/52 , H01L 29/786 , H01L 21/336 , H01L 29/06

FI (8件)：

C01B31/02 101F , H01L21/28 301Z , H01L21/285 C , H01L21/88 M , H01L29/78 618B , H01L29/78 618A , H01L29/78 616K , H01L29/06 601N

Fターム (33件)：

4G146AA11 , 4G146AB06 , 4G146AD28 , 4G146BB23 , 4G146BC08 , 4G146BC15 , 4G146BC42 , 4G146BC43 , 4G146BC47 , 4G146DA03 , 4M104BB13 , 4M104BB36 , 4M104CC01 , 4M104CC05 , 4M104DD43 , 4M104DD45 , 4M104DD79 , 4M104DD83 , 4M104GG09 , 5F033HH00 , 5F033HH17 , 5F033PP06 , 5F033QQ73 , 5F033QQ80 , 5F033VV06 , 5F110AA30 , 5F110DD05 , 5F110GG01 , 5F110GG44 , 5F110GG58 , 5F110HK02 , 5F110HK04 , 5F110HK06

引用特許：

出願人引用 (1件)

炭素元素円筒型構造体へのオーミック接続構造及びその作製方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-078353 出願人：富士通株式会社

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