サックバックバルブ

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：千葉剛宏 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-092603
公開番号（公開出願番号）：特開平10-281318
出願日： 1997年04月10日
公開日（公表日）： 1998年10月23日
要約：

【要約】【課題】パイロット圧並びに吸引される圧力流体の流量を高精度に制御することにある。【解決手段】サックバックバルブ20は、ステム96を介して第2ダイヤフラム100を変位させるリニアアクチュエータ118と、前記リニアアクチュエータ118の変位量を検出するエンコーダ120と、オン/オフ弁機構26に供給されるパイロット圧を制御する流量制御手段68とを備える。

請求項（抜粋）：

流体通路を有し、一端部に第1ポートが形成され他端部に第2ポートが形成された継手部と、可撓性部材が変位することによって発生する負圧作用下に前記流体通路内の流体を吸引するサックバック機構と、パイロット圧の作用下に前記流体通路を開閉するオン/オフ弁機構と、前記可撓性部材を変位させる電動リニアアクチュエータを有する駆動部と、前記オン/オフ弁機構に供給されるパイロット圧を制御する流量制御手段と、を備えることを特徴とするサックバックバルブ。

引用特許：

出願人引用 (9件)

特開平3-114565
温度調整回路付き薬液弁
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-359778 出願人：株式会社東芝, シーケーディ株式会社
吸い戻し弁
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-248665 出願人：シーケーディ株式会社, 株式会社イワキ

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審査官引用 (10件)

特開平3-114565
温度調整回路付き薬液弁
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-359778 出願人：株式会社東芝, シーケーディ株式会社
吸い戻し弁
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-248665 出願人：シーケーディ株式会社, 株式会社イワキ

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