特許
J-GLOBAL ID：200903087241962176
ドライフィルムレジスト
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-212138
公開番号（公開出願番号）：特開平10-039504
出願日： 1996年07月24日
公開日（公表日）： 1998年02月13日
要約：
【要約】【課題】 静電気の作用によってベースフィルムの表面にごみやほこりなどが引きつけられ付着するのを防止して、異物付着によるパターン不整を防止し、品質の安定化を図り、かつ低湿度に調湿された環境下においても優れた帯電効果を有するドライフィルムレジストの提供。【解決手段】 ベースフィルムの一面上にレジスト層が形成され、さらにその上面にカバーフィルムが積層されたドライフィルムレジストであって、ベースフィルムの他面上にスルホン酸基および/またはカルボン酸基を有する酸性基置換可溶性アニリン系導電性ポリマー類からなる透明帯電防止層が形成されているドライフィルムレジスト。
請求項（抜粋）：
ベースフィルムの一面上に、レジスト層が形成され、さらにその上面にカバーフィルムが積層されたドライフィルムレジストであって、ベースフィルムの他面上にスルホン酸基および/またはカルボン酸基を有する酸性基置換の可溶性アニリン系導電性ポリマー類(a)からなる透明帯電防止層が形成されていることを特徴とするドライフィルムレジスト。
IPC (2件)：
G03F 7/004 512
, G03F 7/09
G03F 7/004 512
, G03F 7/09
