特許
J-GLOBAL ID:200903087298990559
ナノサイズ構造体の製造方法及びその装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
清水 守
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-262724
公開番号(公開出願番号):特開2003-071800
出願日: 2001年08月31日
公開日(公表日): 2003年03月12日
要約:
【要約】【課題】 数nmから数百nmオーダーの微粒子を単一で捕捉し、さらに固定するナノサイズ構造体の製造方法及びその装置を提供する。【解決手段】 基板14及び微粒子には吸収されない波長を有する第1のレーザー光Aを、溶液中に分散された微粒子に集光照射してその微粒子を捕捉し、第3のレーザー光Cを前記捕捉された微粒子に集光照射して、微粒子を前記基板14に固定する方法であって、前記微粒子に別途、第2のレーザー光Bあるいは照明光を照射し散乱光または蛍光を生じさせ、微粒子が捕捉されていることを確認するとともに、高分子微粒子、DNAなどのソフトマテリアルに対しては、溶液中に光重合剤を溶解し、この光重合剤の重合開始閾値を利用して微粒子の周囲のみを硬化させて前記基板14に固定し、金属微粒子に対してはパルス光照射により、金属微粒子を瞬間的に溶解させ、接着・固定する。
請求項(抜粋):
基板及び微粒子には吸収されない波長を有する第1のレーザー光を、溶液中に分散された微粒子に集光照射して該微粒子を捕捉し、光重合剤に吸収される波長を有する第3のレーザー光を前記捕捉された微粒子に集光照射して、該微粒子を前記基板に固定する方法であって、前記微粒子に別途、第2のレーザー光あるいは水銀ランプからの光を照射し散乱光または蛍光を生じさせ微粒子が捕捉されていることを確認するとともに、溶液中に光重合剤を溶解し、該光重合剤の重合開始閾値を利用して単一微粒子の周囲のみを硬化させて前記基板に固定することを特徴とするナノサイズ構造体の製造方法。
IPC (3件):
B82B 3/00
, B01J 19/12
, G02B 21/32
FI (4件):
B82B 3/00
, B01J 19/12 B
, B01J 19/12 G
, G02B 21/32
Fターム (14件):
2H052AF19
, 4G075AA24
, 4G075AA27
, 4G075BA04
, 4G075BA05
, 4G075BB03
, 4G075BB10
, 4G075CA32
, 4G075CA36
, 4G075CA51
, 4G075DA02
, 4G075EB32
, 4G075EB33
, 4G075EB34
引用特許:
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