特許
J-GLOBAL ID：200903087335117119
光学部品の加工方法及びその加工品
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中野 雅房
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-151646
公開番号（公開出願番号）：特開2002-341146
出願日： 2001年05月21日
公開日（公表日）： 2002年11月27日
要約：
【要約】【課題】 2枚のマスクを相対的に移動させながら、片側が垂直に近い三角断面形状をした加工溝をレーザー加工する場合において、ドッグ・イアのような加工異常を低減する。【解決手段】 2枚のマスク23、24を重ね、両マスク23、24の開口30、31の重なりによって形成された加工用開口パターン32を通して加工対象物33にレーザー光34を照射する。このとき、レーザー光34の照射領域の幅が加工溝35の幅と等しい状態から出発して徐々に加工用開口パターン32の幅を狭くしていき、加工用開口パターン32が完全に閉じる前にレーザー光34の照射を停止させる。
請求項（抜粋）：
マスクの加工用開口パターンの開口面積を時間的に変化させながら当該マスクの加工用開口パターンを通して加工対象物に光エネルギーを照射することにより、加工対象物に略V溝状の加工部分を含む形状を形成する光学部品の加工方法において、光エネルギーの照射中に、前記略V溝状の加工部分の最深部と対応する位置で、前記マスクの加工用開口パターンが完全に閉じないようにすることを特徴とする光学部品の加工方法。
IPC (5件)：
G02B 6/00 331
, B23K 26/00
, B23K 26/06
, G02B 5/02
, G02B 5/18
G02B 6/00 331
, B23K 26/00 G
, B23K 26/00 M
, B23K 26/06 E
, B23K 26/06 J
, G02B 5/02 C
, G02B 5/18
2H038AA55
, 2H038BA06
, 2H042BA04
, 2H042BA15
, 2H042BA20
, 2H049AA33
, 2H049AA37
, 2H049AA60
, 2H049AA62
, 2H049AA63
, 4E068AD00
, 4E068CA01
, 4E068CB02
, 4E068CC02
, 4E068DA00
