特許
J-GLOBAL ID：200903087352280228

遠紫外線露光用感光性樹脂組成物

発明者：
佐藤 健一郎

佐藤 健一郎 について

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児玉 邦彦

児玉 邦彦 について

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上西 一也

上西 一也 について

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青合 利明

青合 利明 について


出願人/特許権者：
富士写真フイルム株式会社

富士写真フイルム株式会社 について


代理人 (1件)： 萩野 平 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-215731
公開番号（公開出願番号）：特開平10-062995
出願日： 1996年08月15日
公開日（公表日）： 1998年03月06日
要約：
【要約】【課題】 170〜220nmの露光光に対して透明性が高く且つ光分解性、酸発生効率が優れ、170〜220nmの露光光を利用したリソグラフィーにおいて使用可能な遠紫外線露光用感光性樹脂組成物と170〜220nmの露光光を利用したリソグラフィーにおいて好適なパターン形成方法を提供する。【解決手段】 特定の構造のN-ヒドロキシマレインイミド型スルフォネート光酸発生剤と酸によりアルカリ現像液に対する溶解性を増大させる置換基を有する樹脂を含有する170〜220nmの遠紫外線露光用感光性樹脂組成物、及びそれを用いたパターン形成方法。
請求項（抜粋）：
下記一般式(I)で表されるN-ヒドロキシマレインイミド型スルフォネート光酸発生剤と酸によりアルカリ現像液に対する溶解性を増大させる置換基を有する樹脂を含有することを特徴とする170〜220nmの遠紫外線露光用感光性樹脂組成物。【化1】R1 、R2 は各々同じでも異なってもよく、水素原子、炭素数1〜6個のアルキル基、炭素数6個以下のシクロアルキル基を表し、但しR1 とR2 がアルキレン鎖を介して結合して環を形成してもよい。R3 はアルキル基、ペルフルオロアルキル基、環状のアルキル基又は樟脳置換体を表す。
IPC (4件)：
G03F 7/039 601 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/30 ,  H01L 21/027
FI (5件)：
G03F 7/039 601 ,  G03F 7/004 503 A ,  G03F 7/30 ,  H01L 21/30 502 R ,  H01L 21/30 569 F
引用特許：
審査官引用 (3件)

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