感放射線性樹脂組成物

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：福沢俊明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-259755
公開番号（公開出願番号）：特開平8-101506
出願日： 1994年09月30日
公開日（公表日）： 1996年04月16日
要約：

【要約】【目的】特に解像度およびパターン形状が優れるとともに、感度、現像性、プロセス安定性等にも優れ、しかもコントラスト、耐熱性等も良好な化学増幅型ポジ型レジストとして有用な感放射線性樹脂組成物[I] 、[II]および[III] を提供する。【構成】感放射線性樹脂組成物[I] は、1-メトキシエチルアクリレートで代表されるアセタール基含有(メタ)アクリル酸エステルの重合体(A)および感放射線性酸発生剤(B)を含有し、感放射線性樹脂組成物[II]は、前記成分(A)および(B)とアルカリ可溶性樹脂(C)とを含有する。また、感放射線性樹脂組成物[III] は、2-テトラヒドロピラニルアクリレートで代表されるアセタール基含有(メタ)アクリル酸エステルの重合体(A')、前記成分(B)および(C)並びに酸拡散制御剤(D)を含有する。

請求項（抜粋）：

下記一般式(1)で表される繰返し単位を有する重合体(A)および感放射線性酸発生剤(B)を含有する感放射線性樹脂組成物。【化1】〔一般式(1)において、A は2価の酸素原子または2価の硫黄原子を示し、R1は水素原子またはメチル基を示し、R2、R3、R4、R5およびR6は相互に同一でも異なってもよく、水素原子、アルキル基、アルコキシル基、アルキルチオ基、アリール基、アリールオキシ基またはアラルキル基を示す。〕

IPC (5件)：

G03F 7/039 501 , G03F 7/004 501 , G03F 7/004 503 , G03F 7/033 , H01L 21/027

引用特許：

審査官引用 (28件)

特開平3-192173
特開平4-215661
シュート・アンド・ラン印刷材料
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-297897 出願人：ミネソタマイニングアンドマニュファクチャリングカンパニー

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