特許
J-GLOBAL ID：200903087442784896

欠陥検査装置および欠陥検査方法

発明者：
池田 徳之

池田 徳之 について

, 
田代 慎太郎

田代 慎太郎 について

, 
門澤 文夫

門澤 文夫 について


出願人/特許権者：
三菱レイヨン株式会社

三菱レイヨン株式会社 について


代理人 (1件)： 志賀 正武 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-160895
公開番号（公開出願番号）：特開2001-337041
出願日： 2000年05月30日
公開日（公表日）： 2001年12月07日
要約：
【要約】【課題】 装置を小型化でき、また検査を高速化できる欠陥検査装置および欠陥検査方法を提供する。【解決手段】 欠陥検査装置に、検査対象物1の濃度レベルを検出するセンサエレメントが並べられたラインセンサ4と、ラインセンサまたは検査対象物をラインセンサのセンサエレメントが並べられた方向と交差する方向に移動させる移動装置と、各画素毎に一つの閾値を記憶する閾値記憶装置8と、閾値を用いて濃度レベルを2値化する2値化回路6と、2値データが所定の値である場合にのみ濃度レベルを保持し、保持した濃度レベルから1次元欠陥情報を生成するランレングス化装置7と、各1次元欠陥情報を連結し、2次元欠陥情報を生成する連結処理装置9とを設けた。
請求項（抜粋）：
検査対象物上の各点の濃度レベルを検出するセンサエレメントが一直線上に並べられ、前記検査対象物上の1ライン分の領域における濃度レベルを検出し、出力するラインセンサと、このラインセンサまたは前記検査対象物を、前記ラインセンサのセンサエレメントが並べられた方向と交差する方向に移動させる移動装置と、各画素毎に一つの閾値を記憶する閾値記憶装置と、この閾値記憶装置が記憶する閾値を用いて、前記ラインセンサが出力する濃度レベルを2値化し、2値データを出力する2値化回路と、この2値化回路が出力する2値データが所定の値である場合にのみ、前記ラインセンサが出力する濃度レベルを保持し、保持した濃度レベルから、前記検査対象物上の1ライン分の領域に存在する欠陥の情報である1次元欠陥情報を生成するランレングス化装置と、このランレングス化装置が生成する各1次元欠陥情報を連結し、前記検査対象物上の2次元方向に広がる欠陥の情報である2次元欠陥情報を生成する連結処理装置とを有することを特徴とする欠陥検査装置。
IPC (2件)：
G01N 21/88 ,  G06T 1/00 300
FI (2件)：
G01N 21/88 J ,  G06T 1/00 300
Fターム (24件)：
2G051AA31 ,  2G051AB07 ,  2G051CA03 ,  2G051CB01 ,  2G051CB02 ,  2G051CB05 ,  2G051DA06 ,  2G051EA11 ,  2G051EB01 ,  2G051EC01 ,  2G051ED09 ,  5B057BA02 ,  5B057CA08 ,  5B057CA12 ,  5B057CB06 ,  5B057CB12 ,  5B057CC01 ,  5B057CE12 ,  5B057CG04 ,  5B057CH11 ,  5B057DA08 ,  5B057DB02 ,  5B057DB05 ,  5B057DB09
引用特許：
審査官引用 (3件)

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