特許
J-GLOBAL ID：200903087484360670
磁気記録媒体の製造方法、製造装置、インプリントスタンパ及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
日向寺 雅彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-346898
公開番号（公開出願番号）：特開2005-116022
出願日： 2003年10月06日
公開日（公表日）： 2005年04月28日
要約：
【課題】 磁性層がパターン化された磁気記録媒体の作成において、ナノインプリント法を用いるプロセスのスループットを上げることを目的とする。【解決手段】 磁気記録媒体に対応する凹凸パターンを基板の表面に転写するインプリント工程を含む磁気記録媒体の製造方法であって、第1のインプリント領域に属する凹凸パターンを基板に転写する工程と、前記第1のインプリント領域を取り囲む第2のインプリント領域に属し、ほぼ同心円状に配置された複数の凹凸パターンを基板に転写する工程と、を備えたことを特徴とする磁気記録媒体の製造方法を提供する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
磁気記録媒体に対応する凹凸パターンを基板の表面に転写するインプリント工程を含む磁気記録媒体の製造方法であって、
第1のインプリント領域に属する凹凸パターンを基板に転写する工程と、
前記第1のインプリント領域を取り囲む第2のインプリント領域に属し、ほぼ同心円状に配置された複数の凹凸パターンを基板に転写する工程と、
を備えたことを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (3件)：
5D112AA01
, 5D112AA17
, 5D112AA24
