重ね合わせアライメントマークの設計

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人明成国際特許事務所
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-504473
公開番号（公開出願番号）：特表2004-501516
出願日： 2001年06月22日
公開日（公表日）： 2004年01月15日
要約：

【課題】【解決手段】マーク(10)は、少なくとも1つの周期構造セット(60A〜60B)と、少なくとも2つのテスト周期構造セット(60C,70C)と、を備え、双方が1つの軸に沿って配置されている。マークは、デバイスの2つの層間の相対的な位置を測定するために使用される。各テスト周期構造セットは、第1および第2のセクションに形成された周期構造を有する。第1および第2のセクションの周期構造は、それぞれ、デバイスの2つの層のうちの一方に形成されている。各テストセットの第1および第2のセクションは、それぞれ、次のテストセットの第2および第1のセクションに近接して配置されている。このマークは、マークを走査する2つのビームがデバイスの2つの層の一方に形成されたテストセクションと、他方に形成されたテストセクションと、の上方を移動することを許容する。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

デバイスの第1の層と前記第1の層上に形成された第2の層との間の相対的な位置の測定に使用されるマークであって、 1つの軸に沿って配置され、前記デバイスの第1の層上に形成された第1のキャリブレーション周期構造セットと、前記軸に沿って配置された少なくとも2つのテスト周期構造セットであって、各テスト周期構造セットは、前記第1の層上に形成されたテスト周期構造を含む第1のセクションと、前記第2の層上に形成されたテスト周期構造を含む第2のセクションと、を含み、各セットの前記第1のセクションと前記第2のセクションとは、それぞれ、次のテスト周期構造セットの前記第2のセクションと前記第1のセクションとに近接して配置されている、前記少なくとも2つのテスト周期構造セットと、を備える、マーク。

IPC (4件)：

H01L21/027 , G01B11/00 , G03F7/20 , G03F9/00

FI (4件)：

H01L21/30 522 , G01B11/00 G , G03F7/20 521 , G03F9/00 H

Fターム (21件)：

2F065AA07 , 2F065AA14 , 2F065AA20 , 2F065BB03 , 2F065BB28 , 2F065CC19 , 2F065FF48 , 2F065GG06 , 2F065HH04 , 2F065HH13 , 2F065JJ05 , 2F065JJ07 , 2F065LL04 , 2F065LL42 , 2F065MM03 , 2F065PP12 , 5F046EA07 , 5F046EA09 , 5F046EA10 , 5F046EB05 , 5F046FA05

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開昭63-196035
2個の物体を互いに心合せするための心合せマーク
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-001000 出願人：カール・ジュス・コマンディットゲゼルシャフト・プレーチジオンズゲレーテ・フューア・ヴィッセンシャフト・ウント・インダストリー・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング・ウント・コンパニー
特開昭62-048020

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