特許
J-GLOBAL ID：200903087758176219
塗布装置および塗布部材の製造方法、ならびに、カラーフィルタの製造装置および製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-332507
公開番号（公開出願番号）：特開2000-153205
出願日： 1998年11月24日
公開日（公表日）： 2000年06月06日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】塗布液の粘度が10mPa・s以下であっても、塗布開始部の膜厚均一性の悪化や塗布むらが発生することなく、塗布速度の高速化が実現でき、更に、製造タクトタイムを短縮する。【解決手段】両リップの下端における間隙が、一方向に延びる吐出口を形成してなる塗布器40と、被塗布部材Aを支持する支持手段6及びその被塗布部材とを、吐出口の方向に対し実質的に直角な方向に、相対的に移動させる移動手段とを具備し、被塗布部材の表面に塗膜を形成する塗布装置において、両リップの吐出口66に連なり被塗布部材に対向する面を、進行方向からフロントリップエッジ面70およびリアリップエッジ面74としたとき、リアリップエッジ面の進行方向に沿った長さLrが、0.1mm以上、1.0mm未満であり、フロントリップエッジ面の進行方向に沿った長さLfが、長さLrよりも短い、ことを特徴とする保護膜塗布装置及び塗布方法。
請求項（抜粋）：
二つのリップが、所定のリップ間隙をもって対向して位置し、両リップの下端における前記間隙が、一方向に延びる吐出口を形成してなる塗布器と、該塗布器の吐出口に対向して隙間をもって被塗布部材の表面を位置せしめて該被塗布部材を支持する支持手段と、前記塗布器と前記支持手段に支持された被塗布部材とを、前記吐出口の方向に対し実質的に直角な方向に、相対的に移動させる移動手段とを具備し、前記被塗布部材の表面に前記吐出口から吐出される塗布液により塗膜を形成する塗布装置において、前記二つのリップのうち、前記被塗布部材の相対的な進行方向において、進行方向側に位置する方のリップをフロントリップとし、それとは反対側に位置する方のリップをリアリップとし、両リップの前記吐出口に連なり前記被塗布部材に対向する面を、それぞれ、フロントリップエッジ面およびリアリップエッジ面としたとき、a)該リアリップエッジ面の前記進行方向に沿った長さLrが、0.1mm以上、1.0mm未満であり、b)前記フロントリップエッジ面の前記進行方向に沿った長さLfが、前記長さLrよりも短い、ことを特徴とする塗布装置。
IPC (5件)：
B05C 5/02
, B05D 1/26
, G02B 5/20 101
, G02F 1/1335 505
, G03F 7/16 501
B05C 5/02
, B05D 1/26 Z
, G02B 5/20 101
, G02F 1/1335 505
, G03F 7/16 501
2H025AA18
, 2H025AB13
, 2H025DA23
, 2H025EA04
, 2H048BA11
, 2H048BA43
, 2H048BB28
, 2H048BB37
, 2H091FA02Y
, 2H091FC29
, 2H091GA16
, 2H091LA16
, 2H091LA30
, 4D075AC16
, 4D075AC92
, 4D075BB92Y
, 4D075CA48
, 4D075DA03
, 4D075DB13
, 4D075DC21
, 4D075DC24
, 4D075EA05
, 4F041AA05
, 4F041AA12
, 4F041BA12
, 4F041BA21
, 4F041CA02
, 4F041CA17
, 4F041CA23
, 4F041CA25
