電子ビーム照射装置

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-389354
公開番号（公開出願番号）：特開2003-185800
出願日： 2001年12月21日
公開日（公表日）： 2003年07月03日
要約：

【要約】【課題】従来の電子ビーム照射装置で行われていた、電源とハウジングを高電圧ケーブルで接続することによる安全性、信頼性の問題点を解決し、電源とハウジングを一体に製作することで、小型で安全性の高い照射装置を提供すること。【解決手段】真空容器内に配置された、電子ビーム発生器から放出された電子をビーム状に形成し、これを高電圧で加速して、電子ビーム放射窓を通して気中に出力として電子ビームを照射する電子ビーム管と、該電子ビーム管を駆動する高圧トランスとを有する電子ビーム照射装置において、該高圧トランスは樹脂モールドされたハウジングに納められており、該ハウジングの一部に穴があり、該穴内に前記電子ビーム管を着脱自在に取り付けたことを特徴とする電子ビーム照射装置とする。

請求項（抜粋）：

真空容器内に配置された、電子ビーム発生器から放出された電子をビーム状に形成し、これを高電圧で加速して、電子ビーム放射窓を通して気中に出力として電子ビームを照射する電子ビーム管と、該電子ビーム管を駆動する高圧トランスとを有する電子ビーム照射装置において、該高圧トランスは樹脂モールドされたハウジングに納められており、該ハウジングの一部に穴があり、該穴内に前記電子ビーム管を着脱自在に取り付けたことを特徴とする電子ビーム照射装置。

IPC (3件)：

G21K 5/04 , A61L 2/08 , G21K 5/00

FI (3件)：

G21K 5/04 E , A61L 2/08 , G21K 5/00 S

Fターム (5件)：

4C058AA12 , 4C058BB06 , 4C058EE26 , 4C058KK01 , 4C058KK11

引用特許：

審査官引用 (5件)

表面処理のためのモジュラ電子ビームシステムに関する装置および方法
公報種別：公表公報出願番号：特願平10-546111 出願人：アメリカン・インターナショナル・テクノロジィズ・インコーポレイテッド
開放型X線発生装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-309843 出願人：浜松ホトニクス株式会社
広幅電子ビームを有する電子加速器
公報種別：公表公報出願番号：特願2000-587338 出願人：アドバンスト・エレクトロン・ビームズ・インコーポレーテッド

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