ホットプレートユニット

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：恩田博宣 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-356424
公開番号（公開出願番号）：特開2001-203156
出願日： 2000年02月10日
公開日（公表日）： 2001年07月27日
要約：

【要約】【課題】構造の複雑化や大型化を伴うことなく、短時間で冷却しうるホットプレートユニットを提供すること。【解決手段】このホットプレートユニット1は、ケーシング2の開口部4に、抵抗体10を有するホットプレート3を設置してなる。ケーシング2とホットプレート3とにより、流体を流通可能な空間S1が構成されている。ケーシング2の開口部4の上縁とホットプレート3の下面外周部との間には、シール構造14が設けられている。

請求項（抜粋）：

ケーシングの開口部に、抵抗体を有するホットプレートを設置してなるホットプレートユニットであって、流体を流通可能な空間が前記ケーシングと前記ホットプレートとにより構成されてなり、前記ケーシングの開口部の上縁と前記ホットプレートの下面外周部との間には、シール構造が設けられていることを特徴とするホットプレートユニット。

IPC (2件)：

H01L 21/027 , H05B 3/68

FI (2件)：

H05B 3/68 , H01L 21/30 567

引用特許：

審査官引用 (6件)

セラミックスヒーター及び加熱装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-005343 出願人：日本碍子株式会社
半導体製造装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-300971 出願人：ソニー株式会社
特開昭62-169330

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