特許
J-GLOBAL ID：200903088322360398
ウエハステージとその製造方法およびドライエッチング装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
船橋 國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-323679
公開番号（公開出願番号）：特開平10-163307
出願日： 1996年12月04日
公開日（公表日）： 1998年06月19日
要約：
【要約】【課題】 静電チャックを搭載し、かつ、高温加熱時における不都合を解消してウエハの高温加熱を可能にしたウエハステージの提供が望まれている。【解決手段】 温調ジャケット2に静電チャック機能を付与してなるウエハステージ1である。温調ジャケット2は、その内部にヒータ5と温調手段25に接続される温媒配管6とを埋め込み、かつその上面部に、熱緩衝層7を備えて一体化されたアルミニウムあるいはアルミニウム合金製のものである。熱緩衝層7は、板状の多孔質Al2 O3 の孔内にアルミニウムまたはアルミニウム合金を流し込んでこれらが複合化されて形成されたものである。温調ジャケット2の熱緩衝層7の上には、溶射法によって絶縁材料からなる誘電体膜4が形成されている。温調ジャケット2が電極として用いられることにより、温調ジャケット2と誘電体膜4とが静電チャックとしての機能を発揮するものとなる。
請求項（抜粋）：
温調ジャケットに静電チャック機能を付与してなるウエハステージであって、前記温調ジャケットは、その内部にヒータと温調手段に接続される温媒配管とを埋め込み、かつその上面部に、熱緩衝層を備えて一体化されたアルミニウムあるいはアルミニウム合金製のものであり、前記熱緩衝層は、板状の多孔質Al2 O3 の孔内にアルミニウムまたはアルミニウム合金を流し込んでこれらが複合化されて形成されたものであり、該温調ジャケットの前記熱緩衝層の上には、溶射法によって絶縁材料からなる誘電体膜が形成され、前記温調ジャケットが電極として用いられることにより、該温調ジャケットと前記誘電体膜とが静電チャックとしての機能を発揮するものとなることを特徴とするウエハステージ。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, H01L 21/3065
, H02N 13/00
H01L 21/68 R
, H02N 13/00 D
, H01L 21/302 B
