特許
J-GLOBAL ID：200903088361912268
上部にソレノイドアンテナを有する電磁結合RFプラズマリアクター
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長谷川 芳樹 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-122679
公開番号（公開出願番号）：特開平10-092598
出願日： 1997年05月13日
公開日（公表日）： 1998年04月10日
要約：
【要約】【課題】 電磁結合RFプラズマリアクターにおいて、加工均一性の犠牲なく、加工物-天井板間の高さを減少させる方法及び装置を提供すること。【解決手段】 本発明は、プラズマリアクター槽及び槽の内部にて加工物を保持するための支持体を規定するリアクター槽囲壁、リアクター槽囲壁に隣接する非平面の誘導アンテナ、アンテナのRF誘導パターン中の空を補償するために加工物の平面に対して非平面の様式にて空間を空けて配置された誘導要素を含む非平面誘導アンテナ、及び非平面誘導アンテナに連結されたプラズマRF電源を含む電磁結合RFプラズマリアクターを提供する。平面の誘導アンテナは対称性又は非対称性のいずれでもよく、好ましくはソレノイド巻き線例えば垂直に積み重ねられた伝導性巻き線を含む。好ましい実施態様においては、巻き線は対称軸から最小の半径距離にあるが、他の実施態様においては、巻き線は、槽の半径に対してある程度の意味のある比を有する対称軸からの半径距離にある。
請求項（抜粋）：
プラズマリアクター槽、及び加工の間、該槽の内側にて支持平面の近くに加工物を保持するための加工物支持体、ここで該槽は該支持体に対向するリアクター囲壁部を有する、該リアクター囲壁部に隣接しかつ該リアクター囲壁部と非共形の形状を有する非平面の誘導アンテナ、ここで該非平面の誘導アンテナは該支持平面に対して非平面の様式にて空間を空けて配置された誘導要素を含み、該誘導アンテナは該槽中に電流を結合するために採用されている、を含むプラズマリアクター。
IPC (4件)：
H05H 1/46
, C23F 4/00
, H01L 21/205
, H01L 21/3065
H05H 1/46 L
, C23F 4/00 A
, H01L 21/205
, H01L 21/302 B
