特許
J-GLOBAL ID:200903088416821046

ホログラムの欠陥検出装置および欠陥検出方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (8件): 鈴江 武彦 ,  河野 哲 ,  中村 誠 ,  蔵田 昌俊 ,  峰 隆司 ,  福原 淑弘 ,  村松 貞男 ,  橋本 良郎
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-031134
公開番号(公開出願番号):特開2004-239834
出願日: 2003年02月07日
公開日(公表日): 2004年08月26日
要約:
【課題】任意の品種のホログラムに対して効率的に、かつ精度良く欠陥を検出できるようにすること。【解決手段】本発明のホログラム欠陥検出装置によれば、ホログラム10の表面に対する法線方向を除く実質的な表面側全方向から検査光hを照射する光源18と、検査光hがホログラム10によって反射されてなる反射光から、検査光hがホログラム10によって回折されてなる回折光kを抽出するテレセントリックレンズ22と、テレセントリックレンズ22によって抽出された回折光kを撮像し、画像データを取得するカメラ24と、カメラ24によって取得された画像データと、予め撮像された基準画像データとに基づいて、ホログラム10に欠陥が有るか否かを判定する欠陥判定部44とを備えている。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
ホログラムの欠陥を検出する装置であって、 前記ホログラムの表面に対する法線方向を除く実質的な表面側全方向から検査光を照射する検査光用光源と、 前記検査光が前記ホログラムによって反射されてなる反射光から、前記検査光が前記ホログラムによって回折されてなる回折光を抽出する回折光抽出手段と、前記回折光抽出手段によって抽出された回折光を撮像し、画像データを取得する撮像手段と、 前記撮像手段によって取得された画像データと、予め撮像された基準画像データとに基づいて、前記ホログラムに欠陥が有るか否かを判定する判定手段と を備えたホログラムの欠陥検出装置。
IPC (2件):
G01N21/88 ,  G01M11/00
FI (2件):
G01N21/88 Z ,  G01M11/00 T
Fターム (14件):
2G051AA90 ,  2G051AB07 ,  2G051BA04 ,  2G051BB02 ,  2G051CA04 ,  2G051CB06 ,  2G051CC09 ,  2G051EA16 ,  2G051ED01 ,  2G051ED23 ,  2G086EE06 ,  2K008AA00 ,  2K008CC01 ,  2K008EE04
引用特許:
審査官引用 (7件)
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