特許

J-GLOBAL ID：200903088443843221

アライメント方法および装置

発明者： 山内 朗 ,  上西 孝史
出願人/特許権者： 東レエンジニアリング株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-356277
公開番号（公開出願番号）：特開2002-162206
出願日： 2000年11月22日
公開日（公表日）： 2002年06月07日
要約：

【要約】【課題】 被接合物同士を接合するためにアライメントする場合であって、一方の被接合物が被覆材を有する場合に、両被接合物間の相対位置を許容精度内に確実にかつ容易に調整することが可能なアライメント方法および装置を提供する。【解決手段】 第1の被接合物と、被覆材を有する第2の被接合物との相対位置を合わせるに際し、第1の被接合物の位置合わせ用マークの位置を認識手段により認識するとともに、その認識位置を基準に、第2の被接合物の被覆材の外側の領域に対応する位置に、第1の被接合物の位置を代表する基準マークを画面上に表示し、第2の被接合物の被覆材の外側に付されている第2の被接合物の位置合わせ用マークの位置を認識手段により認識するとともに、その認識位置を前記画面上に表示し、第2の被接合物の位置合わせ用マークの位置が前記基準マークの位置に対して予め定められた許容精度内に入るように、第2の被接合物の位置を補正することを特徴とするアライメント方法および装置。

請求項（抜粋）：

第1の被接合物と、被覆材を有する第2の被接合物との相対位置を合わせるに際し、第1の被接合物の位置合わせ用マークの位置を認識手段により認識するとともに、その認識位置を基準に、第2の被接合物の被覆材の外側の領域に対応する位置に、第1の被接合物の位置を代表する基準マークを画面上に表示し、第2の被接合物の被覆材の外側に付されている第2の被接合物の位置合わせ用マークの位置を認識手段により認識するとともに、その認識位置を前記画面上に表示し、第2の被接合物の位置合わせ用マークの位置が前記基準マークの位置に対して予め定められた許容精度内に入るように、第2の被接合物の位置を補正することを特徴とするアライメント方法。

IPC (4件)：

G01B 11/00 ,  G03B 15/00 ,  G12B 5/00 ,  H01L 21/60 311

FI (4件)：

G01B 11/00 A ,  G03B 15/00 T ,  G12B 5/00 T ,  H01L 21/60 311 T

Fターム (14件)：

2F065AA03 ,  2F065BB27 ,  2F065CC25 ,  2F065DD03 ,  2F065FF04 ,  2F065JJ19 ,  2F065MM03 ,  2F065MM04 ,  2F065QQ31 ,  2F065TT02 ,  2F078CA01 ,  2F078CA08 ,  2F078CC01 ,  5F044PP17

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 電子部品搭載装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-077000   出願人：シチズン時計株式会社
• 特開平4-302445
  
• 液晶表示装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-008069   出願人：セイコーエプソン株式会社
• 電子部品の位置合わせ方法及びその装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-323728   出願人：カシオ計算機株式会社
• 特開平4-302445