特許
J-GLOBAL ID：200903088463908800
形状計測装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
富澤 孝 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-282095
公開番号（公開出願番号）：特開平11-118443
出願日： 1997年10月15日
公開日（公表日）： 1999年04月30日
要約：
【要約】【課題】 形状測定のための計算が容易で、外乱や被測定物の反射率の違いに影響されず、高分解能の形状計測装置を提供すること。【解決手段】 本発明の形状計測装置100は、スリット状レーザ光線を発生する光源1と、これを走査し被測定物Mに照射するポリゴンミラー5を有する。さらに、1フレーム分の撮像期間内に照射される光線の積算照射強度分布を二等辺三角波状パターンとする三角波型型光線制御手段14とを有し、この光線による被測定物Mの光学像を撮像するCCDカメラ21を有する。また、撮像した画像情報から、被測定物Mの形状を算出する三角波型画像情報演算手段50を有する。積算照射強度分布が1/4波長ずつ異なる4種の光線を照射し、CCDカメラ21から出力される4フィールドの三角波型画像情報を演算処理することにより被測定物Mの形状を算出する。
請求項（抜粋）：
1フィールドまたは1フレーム分の撮像期間内に照射される光線の積算照射強度分布が、二等辺三角波状パターンとなる光線であって、該積算照射強度分布が1/4波長ずつ異なる4種の光線を被測定物に照射する三角波型光線照射手段と、上記光線により上記被測定物の表面に生じる光学像を積分型撮像部材によって撮像する撮像手段と、該撮像手段から出力される互いに上記積算照射強度分布の異なる4フィールドまたは4フレームの三角波型画像情報を演算処理することにより上記被測定物の形状を算出する三角波型画像情報演算手段と、を有する形状計測装置。
引用特許：
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