特許
J-GLOBAL ID：200903088484961816

露光装置の梱包方法およびその方法で梱包される露光装置、並びにその露光装置の梱包構造

発明者：
押川 識

押川 識 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (2件)： 恩田 博宣 ,  恩田 誠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-209151
公開番号（公開出願番号）：特開2005-067617
出願日： 2003年08月27日
公開日（公表日）： 2005年03月17日
要約：
【課題】露光装置を輸送運搬する際に、その光路に不純物ガスが侵入することを容易な構成で抑制することのできる露光装置の梱包方法およびその方法で梱包される露光装置、並びに、その露光装置の梱包構造を提供する。【解決手段】露光装置を、分割可能な各部分ごとに分解する。そして、それら各部分として、例えばビームマッチングユニットBMU11aであればまず、その両開口端部を気密に密閉するカバー20を取着し、その内部を例えば窒素などの不活性ガスで置換する。その後、該BMU11aを第1シート21で該第1シート21内が気密に保たれるように、例えば窒素などの不活性ガスを充填して梱包する。次に、該第1シート21を保護すべく、第2シート22で該第2シート22内が気密に保たれるように、化学的に精製された空気、いわゆるケミカルクリーンエアを充填して2重に梱包する。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
露光装置を輸送する際に、該露光装置を梱包するための露光装置の梱包方法であって、 前記露光装置の少なくとも一部または該露光装置を構成する部品を、断湿用のビニールシートよりもガスバリア性の高い単層または積層体を有する第1シートで梱包し、 該第1シートで梱包された前記露光装置の少なくとも一部または該露光装置を構成する部品を、前記断湿用のビニールシートよりもガスバリア性の高い単層または積層体を有する第2シートで梱包し、 前記第1シートと前記第2シートとの間に所定のガスを充填することを特徴とする露光装置の梱包方法。
IPC (7件)：
B65D81/20 ,  B65B31/02 ,  B65D81/24 ,  B65D85/38 ,  B65D85/68 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027
FI (7件)：
B65D81/20 F ,  B65B31/02 A ,  B65D81/24 D ,  B65D85/68 Z ,  G03F7/20 521 ,  H01L21/30 502Z ,  B65D85/38 Z
Fターム (42件)：
3E037AA20 ,  3E037BA09 ,  3E037BB20 ,  3E037BC01 ,  3E037CA06 ,  3E053AA06 ,  3E053BA10 ,  3E053CA01 ,  3E053DA03 ,  3E053DA10 ,  3E053FA01 ,  3E053JA10 ,  3E067AB91 ,  3E067AB94 ,  3E067BA12B ,  3E067BA12C ,  3E067BB14B ,  3E067BB14C ,  3E067BB25B ,  3E067BB25C ,  3E067CA04 ,  3E067EC31 ,  3E067FA04 ,  3E067FB20 ,  3E067GA18 ,  3E067GA19 ,  3E067GD10 ,  3E096AA01 ,  3E096AA11 ,  3E096AA13 ,  3E096BA30 ,  3E096CA12 ,  3E096DA18 ,  3E096DA30 ,  3E096DB07 ,  3E096EA02X ,  3E096EA11X ,  3E096FA01 ,  3E096FA22 ,  3E096GA01 ,  5F046AA22 ,  5F046AA28
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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