特許
J-GLOBAL ID：200903017160167179

露光装置本体の梱包方法および梱包構造、並びにその方法または構造で梱包される露光装置

発明者：
赤川 勝幸

赤川 勝幸 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (1件)： 志賀 正武 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-007007
公開番号（公開出願番号）：特開2000-203678
出願日： 1999年01月13日
公開日（公表日）： 2000年07月25日
要約：
【要約】【課題】 輸送中における外部からのシリコン系や硫安系など不純物ガスの進入を防ぎ、光学素子のクリーン度を保つことのできる露光装置本体の梱包方法および梱包構造、並びにその方法または構造で梱包される露光装置を提供することを課題とする。【解決手段】 露光装置本体1のチャンバ2の外壁を、第1梱包層Aで梱包し、さらにその外周側を第2梱包層Bで梱包する構成とし、第1梱包層Aを、第2梱包層Bを形成するエアパッキン16,タップシート21等よりもアウトガスの発生が少ない材料である、例えば四フッ化エチレン製のシート材10で形成する構成とした。
請求項（抜粋）：
露光装置本体の輸送時の梱包方法であって、前記露光装置本体の少なくとも一部または前記露光装置本体を構成する部品を第1の梱包材で梱包し、該第1の梱包材を第2の梱包材で梱包し、前記第1の梱包材を、前記第2の梱包材よりも有機系ガスの発生が少ない材料を用いて形成したことを特徴とする露光装置本体の梱包方法。
IPC (2件)：
B65D 85/38 ,  B65D 85/68
FI (2件)：
B65D 85/38 C ,  B65D 85/68 Z
Fターム (20件)：
3E037AA20 ,  3E037BA02 ,  3E037BA03 ,  3E037BA09 ,  3E037BB03 ,  3E037BC01 ,  3E096AA01 ,  3E096BA30 ,  3E096CA02 ,  3E096CA11 ,  3E096CB03 ,  3E096DA03 ,  3E096EA01X ,  3E096EA02X ,  3E096EA06X ,  3E096EA09X ,  3E096FA02 ,  3E096FA03 ,  3E096FA07 ,  3E096FA22
引用特許：
審査官引用 (7件)
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