特許
J-GLOBAL ID：200903088490658297

投影光学系および該投影光学系を備えた露光装置

発明者：
高橋 友刀

高橋 友刀 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (1件)： 山口 孝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-047267
公開番号（公開出願番号）：特開2004-258178
出願日： 2003年02月25日
公開日（公表日）： 2004年09月16日
要約：
【課題】球面状の反射面を有する少なくとも1つの球面反射鏡を含む6つの反射鏡を備え、反射鏡の大型化を抑えつつ収差補正を良好に行うことのできる反射型の投影光学系。【解決手段】第1面(4)の中間像を形成するための第1反射結像光学系(G1)と、中間像の像を第2面(7)上に形成するための第2反射結像光学系(G2)とを備えている。第1反射結像光学系は、第1面側から光の入射順に、第1反射鏡(M1)と開口絞り(AS)と第2反射鏡(M2)と第3反射鏡(M3)と第4反射鏡(M4)とを有する。第2反射結像光学系は、第1面側から光の入射順に、第5反射鏡(M5)と第6反射鏡(M6)とを有する。中間像の結像位置は、第4反射鏡M4と第1反射鏡M1との間にあり、第2反射鏡M2または第4反射鏡M4が球面状の反射面を有する。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
6つの反射鏡を備え、第1面の縮小像を第2面上に形成する投影光学系において、 前記第1面の中間像を形成するための第1反射結像光学系と、前記中間像の像を前記第2面上に形成するための第2反射結像光学系とを備え、 前記第1反射結像光学系は、前記第1面側から光の入射順に、第1反射鏡M1と開口絞りと第2反射鏡M2と第3反射鏡M3と第4反射鏡M4とを有し、 前記第2反射結像光学系は、前記第1面側から光の入射順に、第5反射鏡M5と第6反射鏡M6とを有し、 前記中間像の結像位置は、前記第4反射鏡M4と前記第1反射鏡M1との間にあり、前記第2反射鏡M2および前記第4反射鏡M4のうちの少なくとも一方が球面状の反射面を有することを特徴とする投影光学系。
IPC (5件)：
G02B17/00 ,  G03F7/20 ,  G21K1/06 ,  G21K5/02 ,  H01L21/027
FI (7件)：
G02B17/00 A ,  G03F7/20 503 ,  G03F7/20 521 ,  G21K1/06 A ,  G21K5/02 X ,  H01L21/30 531A ,  H01L21/30 517
Fターム (14件)：
2H087KA21 ,  2H087LA01 ,  2H087NA02 ,  2H087NA05 ,  2H087RA05 ,  2H087RA12 ,  2H087TA02 ,  2H087TA06 ,  2H097AA02 ,  2H097CA15 ,  2H097LA10 ,  5F046BA05 ,  5F046GA03 ,  5F046GB01
引用特許：
審査官引用 (4件)
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