特許
J-GLOBAL ID:200903088505417348
原子の拡散を制御することによる金属ナノワイヤの製造方法およびこの方法により製造する金属ナノワイヤ
発明者:
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出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-264960
公開番号(公開出願番号):特開2006-075961
出願日: 2004年09月13日
公開日(公表日): 2006年03月23日
要約:
【課題】 本発明は駆動力を与えることで拡散させた原子または分子を集約、成長させることによりナノワイヤを製造する方法および本方法により製造されるナノワイヤに関する。【解決手段】 原子または分子に駆動力を作用させることでこれらを拡散させた後、物理的な拘束を用いて拡散させた原子または分子を集約し、これを成長させることで高アスペクト比のナノワイヤ作製が可能となることを特徴とする金属ナノワイヤの製造方法および本方法によって作製される金属ナノワイヤである。【選択図】 図2
請求項(抜粋):
金属原子を供給する部材から前記金属原子を離脱させる工程と、前記離脱した金属原子に物理的拘束を与える工程とを有することを特徴とする金属ナノワイヤの製造方法。
IPC (2件):
FI (2件):
Fターム (5件):
4K017BA01
, 4K017CA02
, 4K017CA07
, 4K017CA08
, 4K017EF10
引用特許:
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