研磨布及び研磨装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-145256
公開番号（公開出願番号）：特開平10-329005
出願日： 1997年06月03日
公開日（公表日）： 1998年12月15日
要約：

【要約】【課題】 CMPの面内均一性を向上させることが可能な研磨布及び研磨装置を提供する。【解決手段】弾性を有し表面に凹凸が形成された下層側シート11と、この下層側シート11の凹凸が形成された面上に設けられ被処理基板の被研磨面と対向する面を有する上層側シート12とにより研磨布10を構成した。

請求項（抜粋）：

弾性を有し表面に凹凸が形成された第1のシート状部材と、この第1のシート状部材の凹凸が形成された面上に設けられ被処理基板の被研磨面と対向する面を有する第2のシート状部材とを有することを特徴とする研磨布。

引用特許：

審査官引用 (5件)

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