特許
J-GLOBAL ID：200903088589152468

検査装置

発明者：
間宮 高弘

間宮 高弘 について

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石垣 裕之

石垣 裕之 について

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二村 伊久雄

二村 伊久雄 について


出願人/特許権者：
シーケーディ株式会社

シーケーディ株式会社 について


代理人 (1件)： 川口 光男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-107765
公開番号（公開出願番号）：特開2004-317155
出願日： 2003年04月11日
公開日（公表日）： 2004年11月11日
要約：
【課題】基板上の回路パターン等に関し、その表面色の多様化に適切に対応して、より正確な検査を実現することの可能な検査装置を提供する。【解決手段】検査装置は、回路パターンを有するプリント基板K上に対し、大入射角で照射可能な下リングライト13、小入射角で照射可能な上部リングライト12、プリント基板Kを撮像可能なCCDカメラ6を具備し、撮像された画像データに基づき、回路パターン等に関する検査を行う。回路パターンに対応する部分の表面色が、赤色系統の色を呈する場合に、照射制御手段21は、上部リングライト13から照射される光として赤色光を、青色系統の色を呈する場合には青色光を、緑色系統の色を呈する場合には緑色光を照射できるように切換可能な構成とした。【選択図】 図5
請求項（抜粋）：
回路パターンを有する基板に対し、所定の大入射角で複数の波長域の光を少なくとも選択的に照射可能な大入射角照射手段と、 前記基板に対し、前記大入射角照射手段よりも小さな入射角で、複数の波長域の光を少なくとも選択的に照射可能な小入射角照射手段と、 光の照射された基板を撮像可能な撮像手段と、 前記撮像手段にて撮像された画像データに基づき、前記回路パターンに関し検査を行う検査装置において、 前記回路パターンに対応する部分の表面色が、赤色系統の色を呈する場合に、前記小入射角照射手段から照射される光を赤色又はそれに準ずる波長域とするよう照射光を切換可能な切換手段を設けたことを特徴とする検査装置。
IPC (2件)：
G01N21/84 ,  G01N21/956
FI (2件)：
G01N21/84 E ,  G01N21/956 B
Fターム (9件)：
2G051AA65 ,  2G051AB02 ,  2G051AB14 ,  2G051BA01 ,  2G051BA08 ,  2G051BB01 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051CB05
引用特許：
審査官引用 (4件)
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