微分干渉顕微鏡

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：杉村暁秀 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-101316
公開番号（公開出願番号）：特開平9-015504
出願日： 1996年04月23日
公開日（公表日）： 1997年01月17日
要約：

【要約】【課題】観察物体の正確な位相分布を計測できる微分干渉顕微鏡を提供する。【解決手段】光源7からの光を常光および異常光に分離して観察物体1に照射し、観察物体1を経た常光および異常光を重ね合わせて結像面に結像させるようにした微分干渉顕微鏡において、常光および異常光の光路長差を変化させる光路長差変化手段(9,12)と、結像面に配置した電子撮像素子4と、この電子撮像素子4からの画像データを処理する画像処理手段5とを有し、光路長差変化手段(9,12)により常光および異常光の光路長差を、互いにほぼ等しく符号が異なる2つの状態に変化させ、その各状態での電子撮像素子4からの画像データを画像処理手段5に取り込んで、それらの差画像、和画像を得るようにする。

請求項（抜粋）：

光源からの光を常光および異常光に分離して観察物体に照射し、該観察物体を経た前記常光および異常光を重ね合わせて結像面に結像させるようにした微分干渉顕微鏡において、前記常光および異常光の光路長差を変化させる光路長差変化手段と、前記結像面に配置した電子撮像素子と、この電子撮像素子からの画像データを処理する画像処理手段とを有し、前記光路長差変化手段により前記常光および異常光の光路長差を、互いにほぼ等しく符号が異なる2つの状態に変化させ、その各状態での前記電子撮像素子からの画像データを前記画像処理手段に取り込んで、それらの差画像を得るよう構成したことを特徴とする微分干渉顕微鏡。

引用特許：

審査官引用 (7件)

干渉顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-031062 出願人：オリンパス光学工業株式会社
微分干渉顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-107905 出願人：富士通株式会社
微分干渉顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-196717 出願人：株式会社ニコン

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