特許

J-GLOBAL ID：200903088818958072

加速度計

発明者： 佐久間 貞臣 ,  岡嶋 洋 ,  井口 義則
出願人/特許権者： 株式会社トキメック
代理人 (1件)： 松隈 秀盛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-291882
公開番号（公開出願番号）：特開2000-121660
出願日： 1998年10月14日
公開日（公表日）： 2000年04月28日
要約：

【要約】【課題】 構造及び製造が簡単で且つ誤差が少ない共振型加速度計を提供することを目的とする。【解決手段】 上蓋及び下蓋と、該2つの蓋の間にて片持ち支持された梁と、該梁に形成された表面弾性波共振器を含み、該表面弾性波共振器の共振周波数の変化によって加速度を検出するように構成された加速度計において、梁の固定端部は上蓋及び下蓋に形成された突起部の間に挟まれて支持され、梁、上蓋及び下蓋は貫通するねじによって互いに接合されてセンサユニットが構成され、該センサユニットはねじによって固定壁に装着されている。

請求項（抜粋）：

上蓋及び下蓋と、該2つの蓋の間にて片持ち支持された梁と、該梁に形成された表面弾性波共振器を含み、該表面弾性波共振器の共振周波数の変化によって加速度を検出するように構成された加速度計において、上記梁の固定端部は上記上蓋及び下蓋の内面に形成された突起部の間に挟まれて支持され、上記梁、上蓋及び下蓋は貫通するねじによって互いに接合されてセンサユニットが構成され、該センサユニットは上記ねじによって固定壁に装着されるように構成されていることを特徴とする加速度計。

IPC (2件)：

G01P 15/08 ,  H03H 9/25

FI (3件)：

G01P 15/08 B ,  H03H 9/25 C ,  H03H 9/25 A

Fターム (4件)：

5J097AA29 ,  5J097AA33 ,  5J097BB01 ,  5J097HA04

引用特許：

審査官引用 (6件)

• 特開平4-273068
  
• 加速度計及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-297295   出願人：株式会社トキメック
• 片持梁式加速度センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-119939   出願人：株式会社日立製作所, 日立オートモテイブエンジニアリング株式会社
• 特開平4-328469
  
• 半導体デバイス及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-307156   出願人：住友電気工業株式会社
• シリコン加速度センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-129991   出願人：日本航空電子工業株式会社