特許
J-GLOBAL ID：200903088824831696
プラズマエッチング終点検出方法及び装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
村上 智司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-282970
公開番号（公開出願番号）：特開2003-092286
出願日： 2001年09月18日
公開日（公表日）： 2003年03月28日
要約：
【要約】【課題】ガススイッチングエッチング法において、正確にエッチング終点を検出することができる終点検出方法及び装置を提供する。【解決手段】チャンバ2内の特定反応種に対応した波長の光の発光強度を検出する発光強度検出手段31,32と、発光強度検出手段31,32によって検出されたエッチング工程中の発光強度データから、エッチング工程開始後一定時間内及びエッチング工程終了前一定時間内に得られた発光強度データを除いて、エッチング工程の中間時間帯に検出された発光強度データを抽出し、抽出した発光強度データが予め設定された基準値を越えたとき、エッチング終点であると判定するエッチング終点検出手段34とから構成される。エッチング進行状態を正確に反映している、エッチング工程の中間時間帯の発光強度データを基に判定することで、正確にエッチング終点を検出することができる。
請求項（抜粋）：
プラズマ化された反応種によりシリコン基板上のエッチンググランドをエッチングする工程と、前記エッチングによって前記シリコン基板上に形成された構造面に保護膜を形成する工程との、少なくとも2つの工程を交互に繰り返して前記シリコン基板をエッチングするプラズマエッチング処理において前記エッチングの終点を検出する方法であって、前記エッチング工程中の特定反応種の発光強度データを取得し、取得された発光強度データから、該エッチング工程開始後一定時間内及び該エッチング工程終了前一定時間内に得られた発光強度データを除いて、該エッチング工程の中間時間帯に取得された発光強度データを抽出し、抽出された発光強度データが予め設定された基準値を越えたとき、エッチング終点であると判定するようにしたことを特徴とするプラズマエッチング終点検出方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H05H 1/00 A
, H01L 21/302 E
5F004AA16
, 5F004BA20
, 5F004BB18
, 5F004BB25
, 5F004BB32
, 5F004CA02
, 5F004CA03
, 5F004CB09
, 5F004CB15
, 5F004DA00
, 5F004DA01
, 5F004DA03
, 5F004DA16
, 5F004DA18
, 5F004DB01
, 5F004EA05
, 5F004FA08
