特許
J-GLOBAL ID：200903088886456379
電磁波反応性組成物およびフォトレジスト
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大井 正彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-115377
公開番号（公開出願番号）：特開平10-307395
出願日： 1997年05月06日
公開日（公表日）： 1998年11月17日
要約：
【要約】【課題】 高い光感度を有する電磁波反応性組成物およびフォトレジストを提供すること。【解決手段】 本発明の電磁波反応性組成物は、アルカリ可溶性樹脂と、電磁波の作用によって酸を発生する電磁波-酸発生物質と、酸の存在によって分解して酸を生成する、前記アルカリ可溶性樹脂と水素結合可能な部位を有する化合物よりなる酸-酸生成物質とを含有してなる。また、本発明のフォトレジストは、上記の電磁波反応性組成物を含有してなり、酸-酸生成物質の酸生成反応により、アルカリ可溶性樹脂のアルカリ水溶液に対する溶解性の程度が変化する。
請求項（抜粋）：
アルカリ可溶性樹脂と、電磁波の作用によって酸を発生する電磁波-酸発生物質と、酸の存在によって分解して酸を生成する、前記アルカリ可溶性樹脂と水素結合可能な部位を有する化合物よりなる酸-酸生成物質とを含有してなることを特徴とする電磁波反応性組成物。
IPC (4件)：
G03F 7/039 601
, G03F 7/004 503
, G03F 7/038 601
, H01L 21/027
G03F 7/039 601
, G03F 7/004 503 A
, G03F 7/038 601
, H01L 21/30 502 R
