力学量センサ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：佐藤強
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-029808
公開番号（公開出願番号）：特開平11-230983
出願日： 1998年02月12日
公開日（公表日）： 1999年08月27日
要約：

【要約】【課題】電力消費を伴うことなく検出出力を発生できると共に、構造或いは周辺回路の簡単化を実現できるようにすること。【解決手段】支持基板3上の固定部6に対し、弾性変形可能な梁部8を介して支持されたマス部材7は、加速度の印加に応じて支持基板12の表面と平行な二次元平面方向へ変位する。マス部材7上にはコイル状の検出導体10が設けられ、マス部材7の下方には、検出導体10に対し磁束を鎖交させる磁石13が配置される。この磁石13からの磁束密度は、その中心で最大となり、中心から遠ざかるに従って減少する分布となっている。マス部材7の変位に応じて検出導体10に誘起された起電力は、一対のボンディングパッド11を通じて出力される。

請求項（抜粋）：

支持基板上に弾性変形可能な梁部により支持されて所定方向へ変位可能に設けられたマス部材を備え、このマス部材の変位に応じて当該マス部材に作用する力学量を検出するようにした力学量センサにおいて、前記マス部材に設けられた検出導体と、この検出導体に対し磁束を鎖交させるように配置された磁石と、前記検出導体に誘起される起電力を取り出すための端子部とを備えたことを特徴とする力学量センサ。

引用特許：

審査官引用 (5件)

加速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-330062 出願人：オムロン株式会社
半導体加速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-012461 出願人：株式会社トーキン
特開平3-138501

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