特許
J-GLOBAL ID:200903088903507357
和周波発生分光装置及びその分光方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (4件):
福田 賢三
, 福田 伸一
, 福田 武通
, 加藤 恭介
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2008-077840
公開番号(公開出願番号):特開2009-229386
出願日: 2008年03月25日
公開日(公表日): 2009年10月08日
要約:
【課題】シングルチャネル和周波分光法を高機能化し、赤外光と可視光の波長を可変にしたSFG分光装置及びその測定方法を提案する。【解決手段】パルスレーザ光源と、その出力光を分岐し、分岐の一部を波長変換する波長可変の長波長励起光発生器と、他の一部を波長変換する波長可変の短波長励起光発生器と、長波長励起光を試料に照射する第1光学系と、短波長励起光を試料に照射する第2光学系と、遅延器と、試料からの光から和周波光を選択する第3光学系と、光検出器とを備える。長波長励起光発生器は、波長帯域を掃引し、短波長励起光発生器では試料ごとに出力波長を変える。第1光学系と第2光学系および遅延器は、長波長励起光と短波長励起光とを試料で空間的および時間的に重なるように照射する。第3光学系は、和周波光の光路を調整して光検出器に入射させ、選択された和周波光以外の光を抑制する。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
パルスレーザ光源と、該パルスレーザ光源の出力光を分岐し、分岐の一部の出力光を波長変換して長波長励起光を出力する波長可変の長波長励起光発生器と、分岐の他の一部の出力光を波長変換して短波長励起光を出力する波長可変の短波長励起光発生器と、該長波長励起光を被測定試料に照射する第1光学系と、該短波長励起光を被測定試料に照射する第2光学系と、上記長波長励起光あるいは上記短波長励起光のいずれか一方あるいは両方を遅延させる単数あるいは複数の遅延器と、上記被測定試料からの光から上記長波長励起光と上記短波長励起光との和周波光を選択する第3光学系と、選択された和周波光を検出する光検出器とを備え、
上記長波長励起光発生器は、予め決められた波長帯域を掃引できるものであり、
上記短波長励起光発生器は、被測定試料ごとに出力波長を変えることができるものであり、
第1光学系と第2光学系および上記遅延器は上記長波長励起光と上記短波長励起光とを上記被測定試料で空間的および時間的に重なるように照射する構成であり、
第3光学系は、上記和周波光の光路を調整して上記光検出器に入射するようにする機能をもち、上記選択された和周波光以外の光を抑制するものであり、
上記被測定試料の界面での和周波発生による分光分析に用いることを特徴とする和周波発生分光装置。
IPC (4件):
G01N 21/27
, G01N 21/01
, G01N 21/35
, G01J 3/10
FI (4件):
G01N21/27 Z
, G01N21/01 D
, G01N21/35 Z
, G01J3/10
Fターム (29件):
2G020AA03
, 2G020AA04
, 2G020AA05
, 2G020BA17
, 2G020BA20
, 2G020CA14
, 2G020CB23
, 2G020CB42
, 2G020CB43
, 2G020CC32
, 2G020CD03
, 2G020CD12
, 2G020CD13
, 2G020CD23
, 2G059AA03
, 2G059BB10
, 2G059EE01
, 2G059EE02
, 2G059EE12
, 2G059GG01
, 2G059GG05
, 2G059GG08
, 2G059GG09
, 2G059HH01
, 2G059HH02
, 2G059HH03
, 2G059HH06
, 2G059JJ01
, 2G059JJ13
引用特許:
出願人引用 (2件)
審査官引用 (5件)
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引用文献:
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